Datei:Damascene-Prozess (Schautafel).svg
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Beschreibung
| Beschreibung |
English: A simple damascene process for copper metalization
Deutsch: Schematische Darstellung des Damascene-Prozesses für eine (Teil-)Ebene in der Metallisierung (Herstellung der Leitbahnen) von integrierten Schaltkreisen. Das Schaubild ist vereinfacht, geht aber auch auf die Notwendigkeit einer Kupferdiffusionsbarriere ein. |
| Datum | |
| Quelle | Eigenes Werk |
| Urheber | Cepheiden |
Lizenz
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|
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| Version vom | Vorschaubild | Maße | Benutzer | Kommentar | |
|---|---|---|---|---|---|
| aktuell | 13:20, 25. Nov. 2012 | | 800 × 1.024 (28 KB) | Cepheiden | update |
| 17:38, 12. Dez. 2009 |  | 800 × 1.024 (29 KB) | Cepheiden | {{Information |Description={{en|1=A simple damascene process for copper metalization}} {{de|1=Schematische Darstellung des Damascene-Prezesses für eine (Teil-)Ebene in der Metallisierung (Herstellung der Leitbahnen) von integrierten Schaltkreisen. Das Sc |
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