Datei:Fraunhofer IPMS Mikroscanner auf einem BSOI Wafer.jpg
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Beschreibung
| Beschreibung |
Deutsch: Mit dem Fraunhofer AME75-Prozess fertig prozessierte Mikroscanner auf einem Wafer,
a) bei designspezifischer Strukturierung ausgehend von einem blanken BSOI-Wafer. b) bei Fertigung mit dem VarioS®-Baukastensystem basierend auf vorprozessierten BSOI-Wafern. |
| Datum | |
| Quelle | Eigenes Werk |
| Urheber | Positiveimpact |
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| aktuell | 10:25, 6. Jun. 2011 | | 1.209 × 604 (178 KB) | Positiveimpact |
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