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Datei:LIGA-Doppelumlenksystem.jpg

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Beschreibung
Deutsch: Mit dem LIGA-Verfahren gefertigte Trenndüse (sog. Doppelumlenksystem)
Datum
Quelle
Deutsch: „Fabrication of Microstructures Using the LIGA Process“; W. Ehrfeld, P. Bley, F. Götz, P. Hagmann, D. Münchmeyer, J. Mohr, O.H. Moser, D. Münchmeyer, W. Schelb, D. Schmidt, E. W. Becker; Micro Robots and Teleoperators Workshop, IEEE (9-11 November 1987)
Urheber
Deutsch: Forschungszentrum Karlsruhe; de:Benutzer:Captain Bligh als einer der beteiligten Autoren der Publikation
Genehmigung
(Weiternutzung dieser Datei)
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aktuell17:28, 28. Jun. 2009Vorschaubild der Version vom 17:28, 28. Jun. 20091.186 × 738 (379 KB)Michael.Formanhttp://de.wikipedia.org/wiki/Datei:LIGA-Doppelumlenksystem.jpg This image was uploaded by one of the authors of the paper to the German Wikipedia under the GNU License for free documentation. Original source is "Fabrication of Microstructures Using the

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