Datei:Ty-LithographyAndPatternTransferByEtching-de.svg

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Beschreibung
Deutsch: Mikrostrukturierung: Strukturdefinition in einer Resistmaskierung mit (Foto-) Lithografie und Strukturübertragung in eine Funktionsschicht mittels (nicht-anisotropen) Ätzens
Datum 16. Dezember 2007, 15:57:55 +01:00
Quelle drawn by Torsten Henning
Urheber Torsten Henning
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aktuell16:06, 16. Dez. 2007Vorschaubild der Version vom 16:06, 16. Dez. 2007953 × 589 (28 KB)File Upload Bot (DrTorstenHenning) {{Information| |Description={{de|Mikrostrukturierung: Strukturdefinition in einer Resistmaskierung mit (Foto-) Lithografie und Strukturübertragung in eine Funktionsschicht mittels (nicht-anisotropen) Ätzens}} |Source=drawn by [[User:DrTorstenHe

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