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Kleinwinkelstreuung unter streifendem Einfall (engl. grazing-incidence small-angle scattering, GISAS) ist eine physikalische Messtechnik zur Untersuchung von dünnen Schichten und Grenzflächen.
GISAXS-Streuungsgeometrie: Der einfallende Strahl trifft unter einem kleinen Winkel nahe dem kritischen Winkel der totalen externen Röntgenreflexion auf die Probe. Sowohl der intensive reflektierte Strahl als auch die intensive Streuung in der Einfallsebene werden durch eine stabförmige Strahlblende abgeschwächt. Die diffuse Streuung an der Probe wird mit einem Flächendetektor aufgezeichnet. Als Beispiel ist die Streuung an einem PSPB-Blockcopolymerfilm mit senkrechten Lamellen in der Detektorebene dargestellt. Die beiden Streuungskeulen entsprechen der lateralen Lamellenperiode von etwa 80 nm.
Detlef‐M. Smilgies, Peter Busch, Christine M. Papadakis, Dorthe Posselt: Characterization of polymer thin films with small‐angle X‐ray scattering under grazing incidence (GISAXS). 2002, doi:10.1080/08940880208602975.