Arc-Enhanced Glow Discharge
Als Arc-Enhanced Glow Discharge (AEGD), deutsch: Bogengestützte Glimmentladung, wird die Erzeugung eines Gasplasmas durch Nutzung der Elektronen einer Vakuumbogenentladung bezeichnet. Dazu werden die Elektronen der Vakuumbogenentladung zu einer positiv vorgespannten Elektrode beschleunigt. Die beschleunigten, hochenergetischen Elektronen regen die Gasatome (z. B. Ar, H) oder Gasmoleküle (z. B. N2)[1] an und ionisieren diese teilweise.[2] Die dadurch generierten Gasplasmen werden vorrangig für das Ionenreinigen und das Nitrieren vor der PVD-Hartstoffbeschichtung sowie DLC-Beschichtung (eine DLC-Schicht ist eine diamantähnliche Kohlenstoffschicht) eingesetzt.[3] Die Plasmaerzeugung mittels des AEGD-Prozesses wird in PVD- und DLC-Beschichtungsanlagen, die mit Lichtbogenverdampfern oder Magnetron-Sputterquellen (z. B. in Hybrid-PVD-Anlagen bestehend aus HiPIMS-Magnetrons plus Lichtbogenverdampfen) angewendet.[4] Erfunden wurde das Prinzip von Jörg Vetter und Mitarbeitern.[5] Die AEGD-Systeme verschiedener technischer Realisierungen werden sowohl in Forschungsanlagen als auch in Industrieanlagen verschiedener Hersteller zur Beschichtung von Substraten eingebaut.[6][7][8]
Einzelnachweise
Bearbeiten- ↑ J. Vetter, T. Wallendorf: Plasma diagnostics of arc-enhanced glow discharge. Surface and Coatings Technology vol. 76-77 issue 1-3 November, 1995. p. 322-327
- ↑ J. Vetter, W. Burgmer, A. J. Perry: Arc- enhanced glow discharge in vacuum arc machines, Surface&Coatings Technology, Volume 59, issue 1-3, (October 1, 1993), p. 152-155
- ↑ Technologie ( vom 2. November 2013 im Internet Archive) (Plasmatec GmbH)
- ↑ J. Vetter, J. Müller und G. Erkens: Domino Platform: PVD Coaters for Arc Evaporation and High Current Pulsed Magnetron Sputtering. In: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. Band 39, Nr. 012004, doi:10.1088/1757-899X/39/1/012004.
- ↑ Patent EP534066B1: Lichtbogen-Beschichtungsanlage mit zusätzlicher Ionisationsanode. Angemeldet am 27. Juni 1992, veröffentlicht am 30. August 1995, Anmelder: METAPLAS Oberflächenveredelung GmbH, Erfinder: Jörg Vetter et al.
- ↑ (PDF) Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc. Abgerufen am 27. August 2019 (englisch).
- ↑ Patent EP2705522B1: Glimmentladungsvorrichtung und Verfahren mit seitlich rotierenden Lichtbogenkathoden. Angemeldet am 3. Mai 2012, veröffentlicht am 28. Juni 2017, Anmelder: Pivot A. S., Erfinder: Tibor Cselle et al.
- ↑ Microstructure and mechanical properties of ta-C films by pulse-enhanced cathodic arc evaporation: Effect of pulsed current. Abgerufen am 27. August 2019.