Ein Vakuumsystem verbindet eine Vakuumkammer mit der geeigneten Prozesssteuerung. In einem solchen System wird mittels eingebauter Vakuumkammer und entsprechender Prozesssteuerung in wenigen Sekunden ein Vakuum erzeugt, unterschieden wird hierbei zwischen:

  • Grobvakuum                  (GV) 1000 – 1 mbar
  • Feinvakuum                   (FV) 1 – 10–3 mbar
  • Hochvakuum                  (HV) 10–3 – 10–7 mbar
  • Ultrahochvakuum           (UHV) 10–7 – (10–14) mbar

in diesem Vakuum werden verschiedenste Bauteile in unterschiedlicher Art und Weise behandelt und so z.B. auf eine Plasmabehandlung vorbereitet.

Mittels eines Vakuumsystems können unterschiedliche Prozesse an einem Bauteil durchgeführt werden z.B. :

  • Höhensimulation (Verhalten unter Druck bzw. Druckschwankungen in einem Flugzeug wird getestet)
  • Vakuumtrocknung (Produkte die mit Flüssigkeiten wie Wasser oder Lösungsmittel getränkt werden getrocknet)
  • manueller Vakuumverguss (Blasenfreier Verguss unter Atmosphärendruck)
  • Vakuumentgasung (flüchtige Substanzen an Bauteilen werden mit einem gesteuerten Prozess entfernt)


Die Anwendungsbereiche eines Vakuumsystems sind sehr vielseitig, es kann sowohl in der Forschung als auch in der Entwicklung eingesetzt werden.

Vakuumsysteme werden meist individuell für das Bauteil gefertigt.


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Einzelnachweise

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  1. www.plasma.com/vakuumsysteme
  2. Dr. Karl Jousten, Handbuch Vakuumtechnik