Die Röntgendiffraktometrie mit streifendem Einfall (englisch grazing incidence X-ray diffraction, GIXRD, manchmal auch nur GID für grazing incidence diffraction) ist ein spezielles Messverfahren der Röntgendiffraktometrie, die auf der Röntgenbeugung basiert.
Beschreibung
BearbeitenIm Gegensatz zu herkömmlichen Röntgenbeugungsverfahren, wird bei der Röntgendiffraktometrie mit streifendem Einfall die Beugung der Röntgenstrahlung unter kleinen Winkeln (nahe oder unterhalb des kritischen Winkels) untersucht. Bei solch flachen Einfallswinkeln dringt die evaneszente Welle nur schwach in die Probe ein
Beschreibung
BearbeitenEs zeichnet sich durch einen besonders flachen Einfallswinkel der Röntgenstrahlung auf die Probe aus (α < 3°; gesehen von der Oberfläche der Probe). Ziel ist es, auf diese Weise ein möglichst nur ein kleines Volumen der Probe zu untersuchen, um Messdaten über Dünnschichten ohne großen Untergrund zu erhalten. Beim herkömmlichen Theta/2-Theta-Verfahren erhält man wegen der Eindringtiefe der Röntgenstrahlung Informationen von bis zu einem Millimeter der Probe, also zum großen Teil die Eigenschaften des darunterliegenden Substrats. Durch den sehr flachen Einfallswinkel der Röntgenstrahlung bei GIXRD verringert sich das von der Röntgenstrahlung erfasste Dünnschichtvolumen. Die evaneszente Welle dringt nur schwach in das Material ein. Für noch kleinere Winkel (0–0,6 Grad) lässt sich sogar die Oberfläche der Dünnschicht untersuchen.
Literatur
BearbeitenMario Birkholz, Paul F. Fewster, Christoph Genzel: Thin film analysis by X-ray scattering. Wiley-VCH, 2006, ISBN 3-527-31052-5, S. 148 ff. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).