Ionenstrahlätzen oder (engl.) ion milling (Ionenmühle) Ionenmühle klingt etwas komisch als Übersetzung, im allg. heißt milling zu dt. Fräsen wenn es um abtragende Verfahren geht. Also einfach die überflüssige und falsche Übersetzung weg lassen und Ionenstrahlätzen oder (engl.) ion milling schreiben.
- Ionenätzanlagen werden tatsächlich umgangssprachlich auch als Ionenmühlen bezeichnet. Den Begriff Ionen-Fräsen habe ich noch nie gehört. Tx66 21:25, 30. Jan. 2008 (CET)
Ich bezweifle, dass man Strukturen oder Schichtdicken von 1 nm herstellen kann. das wären nur noch ca. 10 Atome. Ist da nicht eher 1 µm gemeint?
- Man dünnt die Proben bis Null runter, erhält dabei einen Probenkeil mit dehr flachem Winkel, der unter Umständen auch Bereiche der Dicke 1nm hat. Das sind auch eher 3-4 Atome. Tx66 21:25, 30. Jan. 2008 (CET)
Seit wann bitte ist Lasermaterialbearbeitung ein grobmechanisches Verfahren??? So einen Quatsch hab ich ja echt lange nicht gelesen. Wenn dann gilt es doch eher im speziellen das Lasermikrostrukturierungsverfahren mit dem Ionenstrahlätzen zu Vergleichen und dann kann man sicher die vergleichsweise grobe Auflösung des ersteren herausstellen. (nicht signierter Beitrag von 141.55.36.112 (Diskussion | Beiträge) 21:41, 4. Mai 2010 (CEST))
Der Artikel hat meiner Meinung nach den falschen Titel. Ionendünnung ist nur ein Spezialfall vom Ionenstrahlätzen. Der Artikel sollte anders benannt werden. Außerdem ist der Artikel zu sehr auf die TEM Probenpräparation ausgerichtet. IBE kann erheblich mehr. (nicht signierter Beitrag von 139.18.5.107 (Diskussion) 10:01, 28. Feb. 2012 (CET))
Unterteilung
BearbeitenMan unterteilt die Ionenstrahlätztechniken in IBE (Ion Beam Etching)[unter Inertgas], RIBE (Reactive Ion Beam Etching)[unter Reaktivgas] und CAIBE (Chemically Assisted Ion Beam Etching)[unter Intergas]. Siehe http://www.oxfordplasma.de/technols/ibe.htm
--Harald321 (Diskussion) (15:01, 20. Jul 2014 (CEST), Datum/Uhrzeit nachträglich eingefügt, siehe Hilfe:Signatur)