Diskussion:Magnetronzerstäubung

Im Artikel Sputtern gehts um Ionenbeschuss, hier plötzlich um ionisierenden Elektronenbeschuss. Wieso Zykloidbahnen höheres Ionisierungsvermögen bewirken sollen, man weiss es nicht. Eigentlich auch nicht, was da ionisiert werden soll und warum. Wieso hat ein Plasma Elektronen zur Verfügung, was soll das denn heißen ? Fink 23:27, 1. Feb 2006 (CET)