Silicium

chemisches Element mit dem Symbol Si und der Ordungszahl 14
(Weitergeleitet von Silicatkreislauf)

Silicium, oder auch Silizium,[13] ist ein chemisches Element mit dem Symbol Si und der Ordnungszahl 14. Es steht in der 4. Hauptgruppe (Kohlenstoffgruppe), bzw. der 14. IUPAC-Gruppe, und der 3. Periode des Periodensystems der Elemente. In der Erdhülle ist es, auf den Massenanteil bezogen, nach Sauerstoff das zweithäufigste Element.

Eigenschaften
Allgemein
Name, Symbol, Ordnungszahl Silicium, Si, 14
Elementkategorie Halbmetalle
Gruppe, Periode, Block 14, 3, p
Aussehen dunkelgrau,
bläulicher Farbton
CAS-Nummer

7440-21-3

EG-Nummer 231-130-8
ECHA-InfoCard 100.028.300
Massenanteil an der Erdhülle 25,8 % (2. Rang)[1]
Atomar[2]
Atommasse 28,085 (28,084–28,086)[3][4] u
Atomradius (berechnet) 110 (111) pm
Kovalenter Radius 111 pm
Van-der-Waals-Radius 210 pm
Elektronenkonfiguration [Ne] 3s2 3p2
1. Ionisierungsenergie 8.15168(3) eV[5]786.52 kJ/mol[6]
2. Ionisierungsenergie 16.34585(4) eV[5]1577.13 kJ/mol[6]
3. Ionisierungsenergie 33.49300(9) eV[5]3231.58 kJ/mol[6]
4. Ionisierungsenergie 45.14179(7) eV[5]4355.52 kJ/mol[6]
5. Ionisierungsenergie 166.767(3) eV[5]16091 kJ/mol[6]
Physikalisch[2]
Aggregatzustand fest
Kristallstruktur Diamantstruktur
Dichte 2,336 g/cm3(20 °C)[7]
Mohshärte 6,5
Magnetismus diamagnetisch (χm = −4,1 · 10−6)[8]
Schmelzpunkt 1683 K (1410 °C)
Siedepunkt 3533 K[9] (3260 °C)
Molares Volumen 12,06 · 10−6 m3·mol−1
Verdampfungsenthalpie 383 kJ·mol−1[9]
Schmelzenthalpie 50,66[10] kJ·mol−1
Schallgeschwindigkeit 8433 m·s−1 bei 293 K
Spezifische Wärmekapazität 703[1] J·kg−1·K−1 bei 298 K
Elektrische Leitfähigkeit (Eigenleit.) 5·10−4 S·m−1 bei 300 K
Wärmeleitfähigkeit 150 W·m−1·K−1
Chemisch[2]
Oxidationszustände −4, (2) +4
Elektronegativität 1,90 (Pauling-Skala)
Isotope
Isotop NH t1/2 ZA ZE (MeV) ZP
26Si {syn.} 2,234 s ε 5,066 26Al
27Si {syn.} 4,16 s ε 4,812 27Al
28Si 92,23 % Stabil
29Si 4,67 % Stabil
30Si 3,1 % Stabil
31Si {syn.} 157,3 min β 1,492 31P
32Si {syn.} 153 a β 0,224 32P
33Si {syn.} 6,18 s β 5,845 33P
34Si {syn.} 2,77 s β 4,601 34P
Weitere Isotope siehe Liste der Isotope
NMR-Eigenschaften
  Spin-
Quanten-
zahl I
γ in
rad·T−1·s−1
Er (1H) fL bei
B = 4,7 T
in MHz
29Si 1/2 0−5,319 · 107 7,86 · 10−3 19,864 (2,3488 T)
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung[11]
keine GHS-Piktogramme
H- und P-Sätze H: keine H-Sätze
P: keine P-Sätze[11]
MAK

Schweiz: 3 mg·m−3 (gemessen als alveolengängiger Staub)[12]

Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet.
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Silicium ist ein klassisches Halbmetall, weist daher sowohl Eigenschaften von Metallen als auch von Nichtmetallen auf und ist ein Elementhalbleiter. Reines, elementares Silicium besitzt eine grau-schwarze Farbe und weist einen typisch metallischen, oftmals bronzenen bis bläulichen Glanz auf.

Silicium ist äußerst wichtig für die Elektronik und wurde in isotopenreiner Form auch für das Avogadroprojekt verwendet, mit dem 2019 die Maßeinheiten Kilogramm und Mol neu definiert wurden. Elementares Silicium ist für den menschlichen Körper ungiftig, in gebundener silicatischer Form ist Silicium für den Menschen wichtig. Der menschliche Körper enthält etwa 20 mg/kg Körpermasse Silicium; die Menge nimmt mit zunehmendem Alter ab.

Etymologie

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Standardsprachlich wird das Element „Silizium“ geschrieben. Die Schreibweise mit „c“ ist vor allem in der chemischen Fachsprache gebräuchlich. Beide Schreibweisen entstammen dem lateinischen Ausdruck siliciaKieselerde“, verknüpft mit lat. silex „Kieselstein“, „Fels“.[14]

Das englische Wort für Silicium ist silicon. Es ist zum Beispiel in der Bezeichnung Silicon Valley enthalten. Die gelegentlich anzutreffende Übersetzung Silikon ist ein falscher Freund, denn Silikone sind eine Klasse von chemischen Verbindungen des Siliciums.

Geschichte

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Nutzung in vorindustrieller Zeit

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Siliciumhaltige Verbindungen, vor allem Gesteine, spielen in der Menschheitsgeschichte als Baumaterial traditionell eine wichtige Rolle. Ein typisches Beispiel für ein frühes Bauwerk aus Stein ist Stonehenge. Ein weiteres wichtiges silicathaltiges Material, das seit langer Zeit als Baumaterial dient, ist Lehm, der als Stampflehm, im Lehmbau mit Astgeflecht oder Stroh verstärkt oder in Lehmziegelbauten verwendet wurde, später auch gebrannt als Backstein. Zement, der ebenfalls silicathaltig ist, wurde erstmals von den Römern entwickelt.

Aufgrund ihrer scharfen Schnittkanten fanden siliciumhaltige Gesteine in der Steinzeit auch Einsatz als Werkzeuge. Bereits in vorgeschichtlicher Zeit ist zum Beispiel Obsidian als besonders geeignetes Werkzeugmaterial abgebaut und durch Handel weithin verbreitet worden. Auch Feuerstein wurde in Kreidegebieten, etwa in Belgien und Dänemark, bergmännisch gewonnen. Bei der Metallgewinnung, insbesondere bei der Stahlherstellung, wird Silicat-Schlacke zum Schutz der Herde und Öfen vor Sauerstoffzutritt und als Form aus Ton oder Sand eingesetzt; dabei wurde möglicherweise die Glasherstellung entdeckt.

Entdeckung als Element

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Antoine Lavoisier postulierte die Existenz von Silicium

Zum ersten Mal wurde im Jahre 1789 von Antoine Lavoisier vorhergesagt, dass es sich bei Silex um das Oxid eines Metalles handelt.[15][16] Im Jahre 1807 postulierte Humphry Davy nach elektrochemischen Versuchen die Existenz der Metalle Silicium, Aluminium, Zirconium und Glucinium (Beryllium).[17]

“Had I been so fortunate as to have obtained more certain evidence on this subject, and to have procured the metallic substances I was in search of, I should have proposed for them the names of silicium, alumium, zirconium and glucium.”

„Wäre ich so glücklich gewesen, mehr zuverlässige Beweise zu diesem Thema zu erhalten und die metallischen Substanzen, die ich suchte, beigebracht zu haben, hätte ich für sie die Namen Silicium, Alumium, Zirkonium und Glucium vorgeschlagen.“

Humphry Davy

Im Jahre 1811 stellten der Chemiker Joseph Louis Gay-Lussac und Louis Jacques Thénard (vgl. Thénards Blau) unreines und amorphes Silicium (a-Si, die nichtkristalline, allotrope Form des Siliciums) her.[18][19] Dazu setzten sie Siliciumtetrafluorid mit elementarem Kalium um. Ein ähnliches Vorgehen wurde 1824 von Jöns Jakob Berzelius in Schweden durch Umsetzung eines Hexafluorosilicates mit elementarem Kalium beschritten. Berzelius reinigte das so erhaltene amorphe Silicium durch Waschen. Er erkannte als erster die elementare Natur des Siliciums und gab ihm seinen Namen.[20]

Der Begriff Silicium leitet sich vom lateinischen Wort silex (Kieselstein, Feuerstein) ab. Er bringt zum Ausdruck, dass Silicium häufiger Bestandteil vieler Minerale ist.

Der englische Begriff silicon wurde 1817 von dem schottischen Chemiker Thomas Thomson (1773–1852) vorgeschlagen. Die Endung -on soll dabei auf die chemische Verwandtschaft zu den Nichtmetallen Kohlenstoff (carbon) und Bor (boron) hinweisen.[21]

Die erstmalige Herstellung reinen, kristallinen Siliciums gelang im Jahre 1854 dem französischen Chemiker Henri Etienne Sainte-Claire Deville mittels Elektrolyse.

Vorkommen

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Silicium in der unbelebten Natur

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Bergkristall aus Siliciumdioxid

Die gesamte Erde besteht mit einem Massenanteil von etwa 15 % aus Silicium; insbesondere der Erdmantel setzt sich zu einem beträchtlichen Anteil aus silicatischen Gesteinsschmelzen zusammen. Die Erdkruste besteht mit einem Massenanteil von etwa 25,8 % aus Silicium. Damit ist Silicium das zweithäufigste chemische Element nach dem Sauerstoff und kommt hauptsächlich in silicatischen Mineralen oder als reines Siliciumdioxid vor. So besteht Sand vorwiegend aus Siliciumdioxid und Quarz ist reines Siliciumdioxid.

Viele Schmucksteine bestehen aus Siliciumdioxid mit mehr oder weniger Beimengungen anderer Stoffe, etwa Amethyst, Rosen- und Rauchquarz, Achat, Jaspis und Opal. Mit vielen Metallen bildet Silicium Silicate aus. Beispiele für silicathaltige Gesteine sind Glimmer, Asbest, Ton, Schiefer, Feldspat und Sandstein. Auch die Weltmeere stellen ein gewaltiges Reservoir an Silicium dar: In Form der monomeren Kieselsäure ist es in allen Ozeanen in beträchtlichen Mengen gelöst. Insgesamt sind bisher (Stand: 2011) 1437 Siliciumminerale bekannt, wobei der seltene Moissanit mit einem Gehalt von bis zu 70 % den höchsten Siliciumanteil hat (zum Vergleich: Mineralischer Quarz hat einen Siliciumgehalt von bis zu 46,7 %).[22]

Da Silicium in der Natur auch in gediegener, das heißt elementarer Form vorkommt, ist es bei der International Mineralogical Association (IMA) als Mineral anerkannt und wird in der Strunz’schen Mineralsystematik (9. Auflage) unter der System-Nr. 1.CB.15 (8. Auflage: I/B.05-10) in der Abteilung der Halbmetalle und Nichtmetalle geführt. In der vorwiegend im englischen Sprachraum bekannten Systematik der Minerale nach Dana trägt das Element-Mineral die System-Nr. 01.03.07.01.

Gediegenes Silicium konnte bisher (Stand: 2011) an 15 Fundorten nachgewiesen werden, davon erstmals in der Lagerstätte Nuevo Potosí auf Kuba. Weitere Fundorte liegen in der Volksrepublik China, Russland, der Türkei und in den Vereinigten Staaten.[23]

Silicatkreislauf

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Silicatische Mineralien werden permanent durch Reaktion mit der Kohlensäure des Wassers zu Metakieselsäure und Carbonaten abgebaut, wie am Beispiel des Calciumsilicats gezeigt werden kann:

 

Die unlösliche Metakieselsäure reagiert weiter mit Kohlensäure zu löslicher Orthokieselsäure:

 

Allerdings reagiert Orthokieselsäure mit sich selbst schnell wieder zu (amorphem) Siliciumdioxid und Wasser, sofern der pH-Wert ≥ 3 ist. Die absolute Konzentration der Orthokieselsäure ist gering (z. B. < ca. 7 mmol in Meerwasser).

Durch Einbau von Kieselsäure oder wasserlöslichen Silicaten in Meeresorganismen (1.), die nach dem Absterben auf den Meeresboden, durch Vulkanismus oder Austritt von Magma am Meeresboden sedimentieren, werden die silicatischen Mineralien wieder zurückgebildet (2.) und der Kreislauf ist geschlossen:

 
 

Der Zeithorizont, in dem dieser Prozess stattfindet, beträgt mehrere Millionen Jahre, ist also beträchtlich länger als im Fall des Kohlenstoffkreislaufs der belebten Natur.

Silicium in der belebten Natur

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Es gibt eine Reihe von Lebewesen, die siliciumdioxidhaltige Strukturen erzeugen. Am bekanntesten sind dabei die Kieselalgen (Diatomeen), Schwämme (Porifera, Spongiaria) und Radiolarien, die sich durch enzymkatalysierte Kondensation von Orthokieselsäure Si(OH)4 ein Exoskelett aus Siliciumdioxid aufbauen. Auch viele Pflanzen enthalten in ihren Stängeln und Blättern Siliciumdioxid. Bekannte Beispiele sind hier der Schachtelhalm und die Bambuspflanze. Durch das aufgebaute Siliciumdioxidgerüst erhalten diese zusätzliche Stabilität.

Physiologische Bedeutung für den Menschen

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Silicium scheint für Knochenbildung und -reifung benötigt zu werden. Bei Kälbern führte die Gabe von Orthosilicat zur Vermehrung von Kollagen in Haut und Knorpel.[24] Die aus Tierversuchen abgeleitete wünschenswerte Zufuhr liegt bei 30 mg/d. Mangelzustände beim Menschen sind bisher nicht bekannt.

Als Kieselerde oder Silicea terra werden Präparate zum Einnehmen angeboten. Sie enthalten im Wesentlichen Kieselsäureanhydride (Siliciumdioxid) und sollen Haut, Nägel, Knochen und Bindegewebe stärken und gesund erhalten. Eine Wirkung ist wissenschaftlich nicht nachgewiesen.

Ein Überschuss an Silicium kann zur Hämolyse von Erythrocyten führen und als Folge Zellveränderungen verursachen.[25] Bei stark übersteigerter Einnahme fördert Silicium die Bildung von Harnsteinen.[26]

Gewinnung im Labor

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Metallurgisches Siliciumpulver

Elementares Silicium kann im Labormaßstab durch Reduktion, ausgehend von Siliciumdioxid oder Siliciumtetrafluorid, mit unedlen Metallen gewonnen werden. Bei Reaktion 2.) handelt es sich um ein aluminothermisches Verfahren, das jedoch nur unter Zusatz von elementarem Schwefel funktioniert, die dritte Route entspricht der Elemententdeckung:

 
 
 

Hochreaktives amorphes Silicium kann durch Reduktion mit Natrium oder Acidolyse von Siliciden erhalten werden:

 
 

Gewinnung in der Industrie

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Global wurden 2020 Silicium und Ferrosilicium im Ausmaß von 8,1 Millionen Tonnen erzeugt. Führende Herstellerländer für Ferrosilicium waren die Volksrepublik China, Russland und Norwegen. Bei metallischem Silicium waren es China, Brasilien und Norwegen. Metallisches Silicium befindet sich auch auf der Liste kritischer Rohstoffe der EU.[27] Mit ca. 70 % Weltmarktanteil war China das mit Abstand größte Erzeugerland. Einen Überblick über die globalen Erzeugermengen gibt folgende Tabelle:[28]

Erzeugermengen Silicium und Ferrosilicium (in t Siliciumgehalt)
Land Erzeugermengen
2019 2020[29] 2021 2022[29]
China Volksrepublik  Volksrepublik China 5.700.000 5.600.000 6.400.000 6.000.000
Russland  Russland 610.000 576.000 644.000 640.000
Brasilien  Brasilien 340.000 404.000 389.000 400.000
Norwegen  Norwegen 375.000 345.000 362.000 360.000
Vereinigte Staaten  Vereinigte Staaten 310.000 277.000 313.000 310.000
Frankreich  Frankreich 130.000 112.000 127.000 120.000
Kasachstan  Kasachstan n. bek. 67.000 122.000 120.000
Island  Island 88.000 103.000 110.000 110.000
Malaysia  Malaysia1 150.000 109.000 85.000 92.000
Bhutan  Bhutan1 90.000 67.000 85.000 85.000
Deutschland  Deutschland n. bek. n. bek. 63.000 63.000
Indien  Indien1 60.000 59.000 59.000 59.000
Spanien  Spanien 66.000 55.000 60.000 57.000
Australien  Australien n. bek. 42.000 50.000 50.000
Kanada  Kanada 57.000 47.000 49.000 49.000
Polen  Polen n. bek. 42.000 49.000 49.000
Ukraine  Ukraine1 63.000 40.000 49.000 19.000
Sudafrika  Südafrika 96.000 n. bek. n. bek. n. bek.
Weltweit 8.410.000 8.120.000 9.150.000 8.800.000
1 
Nur Ferrosilicium

Elementares Silicium findet in unterschiedlichen Reinheitsgraden Verwendung in der Metallurgie (Ferrosilicium), der Photovoltaik (Solarzellen) und in der Mikroelektronik (Halbleiter, Computerchips). Demgemäß ist es in der Wirtschaft gebräuchlich, elementares Silicium anhand unterschiedlicher Reinheitsgrade zu klassifizieren. Man unterscheidet Simg (metallurgical grade, Rohsilicium, 98–99 % Reinheit), Sisg (solar grade, Solarsilicium, Verunreinigungen kleiner 0,01 %) und Sieg (electronic grade, Halbleitersilicium, Verunreinigungen kleiner 10−9). Für Solarzellen ist die Reinheit des Materials in seiner gesamten Stärke wichtig, um eine möglichst lange Ladungsträger-Lebensdauer zu gewährleisten, für viele Anwendungen in der Mikroelektronik müssen nur die oberen Schichten von etwa 20 bis 30 µm hochrein sein.

Traditionell wird das Siemens-Verfahren eingesetzt, bei dem das Silicium zunächst mit gasförmigem Chlorwasserstoff bei 300–350 °C in einem Wirbelschichtreaktor zu Trichlorsilan (Silicochloroform) umgesetzt wird.

 

Nach mehreren Destillationsschritten wird das Trichlorsilan in Anwesenheit von Wasserstoff in einer Umkehrung der obigen Reaktion an beheizten Reinstsiliciumstäben bei 1000–1200 °C wieder thermisch zersetzt.[30] Das elementare Silicium wächst dabei auf die Stäbe auf. Der dabei freiwerdende Chlorwasserstoff wird in den Kreislauf zurückgeführt. Als Nebenprodukt fällt Siliciumtetrachlorid an, das entweder zu Trichlorsilan umgesetzt und in den Prozess zurückgeführt oder in der Sauerstoffflamme zu pyrogener Kieselsäure verbrannt wird.

Rohsilicium

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Im industriellen Maßstab wird elementares Silicium durch die Reduktion von Siliciumdioxid mit Kohlenstoff im Schmelz-Reduktionsofen bei Temperaturen von etwa 2000 °C gewonnen. Ausgangsmaterial ist Quarzsand oder Quarzkies.

 

Von diesem industriellen Rohsilicium (Simg) wurden im Jahre 2002 etwa 4,1 Millionen Tonnen hergestellt. Es ist für metallurgische Zwecke ausreichend sauber und findet Verwendung als Legierungsbestandteil und Desoxidant für Stähle (Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit, Unterdrückung von Zementit) sowie als Ausgangsstoff für die Silanherstellung über das Müller-Rochow-Verfahren, die schließlich vor allem zur Herstellung von Silikonen dienen. Zur Herstellung von Ferrosilicium für die Stahlindustrie (Desoxidationsmittel im Hochofenprozess) wird zweckmäßigerweise nachfolgende Reaktion unter Anwesenheit von elementarem Eisen durchgeführt.

 

Weitere Aufschlussmöglichkeiten von SiO2 sind:

Der Sodaaufschluss bei ca. 1600 °C in der Schmelzwanne:

 

Der Hydrothermalaufschluss bei ca. 200 °C mit Wasser im Autoklaven:

 

Solarsilicium

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Gereinigtes polykristallines Silicium

Für die Produktion von Solarzellen wird das Rohsilicium weiter zum sogenannten Solarsilicium (Sisg) (Reinheit >99,99 %) gereinigt. Die verschiedenen dafür eingesetzten Verfahren haben viele aufwendige Zwischenschritte und sind der energieintensivste Teil bei der Herstellung von Solarzellen. Im Zuge von staatlichen Fördermaßnahmen sowie geringeren Energiekosten durch die Verwendung von billigem Strom aus Kohle haben chinesische Anbieter von Solarsilicium ihren Marktanteil zuletzt (Stand Ende 2019) deutlich steigern können.[31]

Ein übliches Verfahren ist die Herstellung von Trichlorsilan aus metallurgischem Silicium und die anschließende Destillation des Trichlorsilans. Das reine Trichlorsilan wird dann pyrolysiert und das entstehende Silicium schlägt sich an bereits eingeführtem Silicium nieder.[32]

Beispiele sind auch das UMG-Verfahren (Upgraded Metallurgical Grade) und das FBR-Verfahren (Fluidized Bed Reactor).[33]

Eine chlorfreie Möglichkeit stellt die Zersetzung von Monosilan dar, das nach einem Reinigungsschritt an beheizten Oberflächen oder beim Durchleiten durch Wirbelschichtreaktoren wieder zerfällt.[34]

 

Bei polykristallinen Solarzellen ist eine höhere Reinheit nicht sinnvoll, weil sich zwar durch die Unreinheiten die Quantenausbeute verringert und sich der Leckstrom erhöht – beides wird jedoch in dieser Weise auch durch die Kristallfehler an den Korngrenzen beeinflusst. Die Effizienz monokristalliner Solarzellen aus hochreinem Silicium ist insbesondere bei geringer Beleuchtung höher. Obwohl sie teurer sind, werden sie unter anderem in Österreich seit 2020 marktbeherrschend verbaut.[35]

Nur noch von historischem Interesse ist ein Verfahren, das von der Firma DuPont angewendet wurde. Es basierte auf der Reduktion von Tetrachlorsilan mit elementarem Zinkdampf bei Temperaturen von 950 °C.[36]

 

Aufgrund technischer Probleme und des in großen Mengen als Abfall anfallenden Zinkchlorids wird dieses Verfahren jedoch heute nicht mehr angewendet.

Halbleitersilicium

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Monokristallines Halbleitersilicium

Für Anwendungen in der Mikroelektronik wird hochreines, monokristallines Silicium (Sieg) benötigt. Insbesondere Verunreinigungen mit Elementen, die auch als Dotierelemente geeignet sind, müssen durch Tiegelziehen oder Zonenschmelzen auf Konzentrationen unterhalb bestimmter kritischer Werte gebracht werden. Der Hersteller Shin-Etsu bewarb eine „11N“-Reinheit (= 99,999 999 999 %) seiner Ingots.[37]

Beim Tiegelziehen (Czochralski-Verfahren) wird das im Siemensverfahren erhaltene Solarsilicium in Quarztiegeln geschmolzen. Ein Impfkristall aus hochreinem, monokristallinem Silicium wird in diese Schmelze gebracht und langsam unter Drehen aus der Schmelze herausgezogen, wobei hochreines Silicium in monokristalliner Form auf dem Kristall auskristallisiert und dadurch fast alle Verunreinigungen in der Schmelze zurückbleiben. Physikalischer Hintergrund dieses Reinigungsverfahrens ist die Schmelzpunkterniedrigung und Neigung von Stoffen, möglichst rein zu kristallisieren.

Alternativ wird beim Zonenschmelzen mit Hilfe einer (ringförmigen) elektrischen Induktionsheizung eine Schmelzzone durch einen Siliciumstab gefahren, wobei sich ein Großteil der Verunreinigungen in der Schmelze löst und mitwandert.

Hochreines kristallines Silicium ist derzeit das für die Mikroelektronik am besten geeignete Grundmaterial; weniger hinsichtlich seiner elektrischen Eigenschaften als vielmehr wegen der chemischen, physikalischen und technisch nutzbaren Eigenschaften von Silicium und seiner Verbindungen (Siliciumdioxid, Siliciumnitrid usw.). Alle gängigen Computerchips, Speicher, Transistoren etc. verwenden hochreines Silicium als Ausgangsmaterial. Diese Anwendungen beruhen auf der Tatsache, dass Silicium ein Halbleiter ist. Durch die gezielte Einlagerung von Fremdatomen (Dotierung), wie beispielsweise Indium, Antimon, Arsen, Bor oder Phosphor, können die elektrischen Eigenschaften von Silicium in einem weiten Bereich verändert werden. Vor allem mittels der dadurch erzeugbaren PN-Übergangs-Effekte lassen sich verschiedenste elektronische Schaltungen realisieren. Wegen der zunehmenden Bedeutung der elektronischen Schaltungen spricht man auch vom Silicium-Zeitalter. Auch die Bezeichnung Silicon Valley (dt. „Silicium-Tal“) für die Hightech-Region in Kalifornien weist auf die enorme Bedeutung des Siliciums in der Halbleiter- und Computerindustrie hin.

Amorphes Silicium kann mit Hilfe von Excimerlasern in polykristallines Silicium umgewandelt werden. Dies ist für die Herstellung von Dünnfilmtransistoren (engl. thin-film transistor, TFT) für Flachbildschirme von zunehmender Bedeutung.

 
Silicium-Wafer

Hersteller

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Silicium ist im Handel sowohl als feinkörniges Pulver als auch in größeren Stücken erhältlich. Dabei ist für Solar-Anwendungen primär das polykristalline Silizium relevant. Für Halbleiterprodukte (Mikroelektronik) sind monokristalline Wafer notwendig.[38][39]

Eigenschaften

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Physikalische Eigenschaften

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Erweitertes Zonenschema von Silicium (nicht besetzte Bereiche eingefärbt)

Silicium ist, wie die im Periodensystem benachbarten Germanium, Gallium, Phosphor und Antimon, ein Elementhalbleiter. Der gemäß dem Bändermodell geltende energetische Abstand zwischen Valenzband und Leitungsband beträgt 1,107 eV (bei Raumtemperatur). Durch Dotierung mit geeigneten Dotierelementen wie beispielsweise Bor oder Arsen kann die Leitfähigkeit um einen Faktor 106 gesteigert werden. In solchermaßen dotiertem Silicium ist die durch die von Fremdatomen und Gitterdefekten verursachte Störstellenleitung deutlich größer als die der Eigenleitung, weshalb derartige Materialien als Störstellenhalbleiter bezeichnet werden. Der Gitterparameter beträgt 543 pm.

 
Spektrum des komplexen Brechungsindex (N = n + i k) von Silicium

Der von der Wellenlänge des Lichts abhängige komplexe Brechungsindex ist im nebenstehenden Bild dargestellt.[40][41] Auch hier lassen sich Informationen über die Bandstruktur ablesen. So erkennt man anhand des stark steigenden Verlaufs des Extinktionskoeffizienten k einen direkten Bandübergang bei 370 nm (EΓ1 = 3,4 eV). Ein weiterer direkter Bandübergang ist bei ≈ 300 nm (EΓ2 = 4,2 eV) zu beobachten. Der indirekte Bandübergang von Silicium (Eg = 1,1 eV) kann nur erahnt werden. Dass weitere indirekte Bandübergänge vorhanden sind, ist an der weit auslaufenden Kurve von k für Wellenlängen > 400 nm erkennbar.

Wie Wasser und einige wenige andere Stoffe weist Silicium eine Dichteanomalie auf: Seine Dichte ist in flüssiger Form (bei Tm = 1685 K) um 10–11 %[42] höher als in fester, kristalliner Form (c-Si) bei 300 K.

Chemische Eigenschaften

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In allen in der Natur auftretenden und in der überwiegenden Zahl der synthetisch hergestellten Verbindungen bildet Silicium ausschließlich Einfachbindungen aus. Die Stabilität der Si-O-Einfachbindung im Gegensatz zur C-O-Doppelbindung ist auf ihren partiellen Doppelbindungscharakter zurückzuführen, der durch Überlappung der freien Elektronenpaare des Sauerstoffs mit den leeren d-Orbitalen des Siliciums zustande kommt. Die lange Jahre als gültig angesehene Doppelbindungsregel, wonach Silicium als Element der 3. Periode keine Mehrfachbindungen ausbildet, muss mittlerweile jedoch als überholt angesehen werden, da inzwischen eine Vielzahl synthetisch hergestellter Verbindungen mit Si-Si-Doppelbindungen bekannt sind. Im Jahre 2004 wurde die erste Verbindung mit einer formalen Si-Si-Dreifachbindung strukturell charakterisiert.

Mit Ausnahme von chlorhaltiger oder salpetersäurehaltiger Flusssäure (in denen sich Hexafluorosilicat bildet) ist Silicium in Säuren unlöslich, da es zur Passivierung durch die Bildung einer festen Siliciumdioxidschicht kommt.[43][44] Leicht löst es sich hingegen in heißen Alkalilaugen unter Wasserstoffbildung.[43] Trotz seines negativen Normalpotenzials (−0,81 V) ist es in kompakter Form reaktionsträge, da es sich an der Luft mit einer schützenden Oxidhaut überzieht.

Mechanische Eigenschaften

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Die mechanischen Eigenschaften von Silicium sind anisotrop (richtungsabhängig).[45][46] Je nach gewählter Kristallorientierung nimmt der Elastizitätsmodul Werte zwischen 130 GPa und 188 GPa an.[47] Eine allgemeine Beschreibung des elastischen Verhaltens erfolgt in Voigt-Notation wie für alle kubischen Kristalle über die drei unabhängigen elastischen Konstanten C11, C12 und C44. Die Elastizitätsmatrix ist für Silicium:

 

Die elastischen Konstanten haben dabei folgende Werte:

 

Aus den elastischen Konstanten lassen sich für die einzelnen Hauptkristallrichtungen des Siliciums (100),(110) und (111) die jeweiligen Elastizitätsmodule errechnen[47]:

 
 
 

Polykristallines Silicium besitzt – makroskopisch betrachtet – ein isotropes Elastizitätsverhalten. In der Literatur werden die entsprechenden Werte des Elastizitätsmoduls, Schubmoduls sowie der Poissonzahl mit

 

angegeben.[47]

Es sind insgesamt 23 Isotope zwischen 22Si und 45Si des Siliciums bekannt. Von diesen sind drei, die Isotope 28Si, 29Si und 30Si, stabil und kommen in der Natur vor. Das Isotop mit dem größten Anteil an der natürlichen Isotopenzusammensetzung ist 28Si mit 92,223 %, 29Si hat einen Anteil von 4,685 % und 30Si von 3,092 %. Die langlebigsten instabilen Isotope sind 32Si, das mit einer Halbwertszeit von 153 Jahren unter Betazerfall in 32P (Phosphor) übergeht und 31Si, das mit einer Halbwertszeit von 157,36 Minuten ebenfalls unter Betazerfall zu 31P zerfällt. Alle anderen Isotope haben nur kurze Halbwertszeiten von Sekunden oder Millisekunden.[48]

28Si entsteht in schweren Sternen gegen Ende ihrer Entwicklung in großen Mengen (Sauerstoffbrennen). Dies ist der Grund für den hohen Anteil von 28Si am gesamten Silicium (92,23 %) bzw. auch an der Häufigkeit von Silicium im Vergleich zu anderen Elementen. Seit 2009 liefen Versuche, die SI-Basiseinheit Kilogramm neu zu definieren als eine bestimmte Menge von 28Si-Atomen; diese Versuche führten im November 2018 zu einer entsprechenden Neudefinition.

Das radioaktive Isotop 31Si zerfällt rasch (Halbwertszeit 157,3 Minuten) durch Betastrahlung zu stabilem Phosphor. Dieser Umstand kann genutzt werden, um sehr homogen n-dotiertes Silicium herzustellen. Dazu wird Silicium mit Neutronen bestrahlt, durch Neutroneneinfang entsteht dann 31Si und folglich 31P. Eine für dieses Verfahren geeignete Neutronenquelle ist die Forschungs-Neutronenquelle Heinz Maier-Leibnitz. Langlebiger ist 32Si mit einer Halbwertszeit von 153 Jahren. Spuren dieses Isotops entstehen in der Erdatmosphäre durch Spallation von Argon durch kosmische Strahlung. 32Si zerfällt zu dem ebenfalls radioaktiven 32P (Halbwertszeit 14,3 Tage), und dann weiter zu stabilem 32S (Schwefel). Alle weiteren Isotope zerfallen innerhalb weniger Sekunden (vgl. Liste der Isotope).

Verwendung

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Mikroprozessor
 
Hausdach mit Photovoltaikanlage

1947 entdeckten John Bardeen, Walter Brattain und William Shockley den regelbaren elektrischen Widerstand, den Transistor, zunächst an einem Germanium-Einkristall. Das verbindungsfreudige Silicium konnte erst später in der für elektronische Zwecke notwendigen Reinheit isoliert werden. 1958 entwickelten Robert Noyce bei Fairchild und Jack S. Kilby bei Texas Instruments unabhängig voneinander die integrierte Schaltung (IC) auf einem Silicium-Chip.[49] Seit etwa 1970 ist Silicium das Grundmaterial der meisten Produkte der Halbleiterindustrie und Basismaterial für viele Sensoren und andere mikromechanische Systeme (z. B. Hebelarm in einem Rasterkraftmikroskop). Silicium ist auch der elementare Bestandteil der meisten Solarzellen.

Im November 2005 wurde von ersten erfolgversprechenden Versuchsergebnissen mit Siliciumlasern berichtet.

Silicium wird als energiereicher Brennstoff in vielen Explosivstoffen verwendet.[50]

Da sich Silicium beim Erstarren ausdehnt, während sich die meisten Stoffe zusammenziehen, wird es vielen Gusslegierungen zulegiert. Gusseisen enthält beispielsweise immer etwa 2 % Si. Besondere Bedeutung haben Aluminium-Silicium-Legierungen, in denen der Si-Gehalt bis 20 % betragen kann. Dies ist von allen Aluminiumgusswerkstoffen die wichtigste Sorte.[51][52]

Weil Silicium flexibel und nicht magnetisierbar ist, werden die Unruhspiralen in manchen Armbanduhren aus Silicium hergestellt.[53]

Sicherheitshinweise

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Silicium ist als Pulver wie viele Elemente brennbar. Als Pulver und Granulat ist es reizend. Kompaktes Silicium ist ungefährlich.

Hydriertes, das heißt oberflächlich mit Wasserstoff bedecktes, poröses Silicium kann unter Lasereinstrahlung und Zunahme von Sauerstoff hochexplosiv sein[50][54], wie Forscher der Technischen Universität München zufällig entdeckt haben. Sprengungen im Mikrometerbereich sind möglich. Die Detonationsgeschwindigkeit und Detonationsenergie sind höher als bei TNT und Dynamit.

Verbindungen

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Siliciumcarbid
 
Quarzkristall

Silicium tritt in chemischen Verbindungen fast immer vierwertig auf. Demgemäß ist das Siliciumatom in Verbindungen in der Regel vierfach koordiniert. Daneben existieren aber mittlerweile eine Reihe von Verbindungen, in denen Silicium eine fünf- oder sechsfache Koordination aufweist. Neben dem vierwertigen Silicium sind auch synthetisch hergestellte Verbindungen des zweiwertigen Siliciums (Silylene) bekannt, die jedoch meistens sehr instabil sind. Von größerer Bedeutung ist einzig das Siliciummonoxid, das als Material zur Vergütung von optischen Linsen verwendet wird. Darüber hinaus wurde 2012 auch eine dreifach koordinierte Verbindung ähnlich der eindimensionalen Struktur von Graphen experimentell nachgewiesen, dem sogenannten Silicen.[55]

Die gesamte Chemie des Siliciums ist im Wesentlichen durch die hohe Affinität des Siliciums zum Sauerstoff geprägt. Silicium stellt in aller Regel den elektropositiven Partner einer chemischen Verbindung dar, obwohl auch Verbindungen mit formal negativiertem Silicium existieren. Dabei handelt es sich meistens um Silicide, bei denen Silicium auch echte Anionen ausbilden kann.

 
Inversion der Bindungspolarität

Besonders erwähnenswert ist die Inversion der Bindungspolarität von Element-Wasserstoff-Bindungen beim Übergang von Kohlenstoff zum Silicium. Hier ändert sich die Elektronegativitätsdifferenz von +0,45 (Kohlenstoff-Wasserstoff) auf −0,2, weshalb Siliciumwasserstoffverbindungen eine gänzlich andere Reaktivität als Kohlenwasserstoffe aufweisen.

Die wichtigsten Verbindungen des Siliciums kann man in folgende Klassen einteilen, von denen jeweils einige Vertreter genannt sind:

Binäre Verbindungen

Silicate

Siliciumhalogenide

Siliciumwasserstoffe

Organische Siliciumverbindungen

Polymere Siliciumverbindungen

  • Silikone (Silicone, Polyorganosiloxane) entstehen durch Polymerisation und gehören zu den wichtigsten industriellen Kunststoffen. Polymere Silicium-Sauerstoff-Verbindungen finden Anwendung in vielen Bereichen; so dienen sie als Schmiermittel und Dichtstoffe in der Kosmetik- und Bauindustrie.
  • Polysilane, -carbosilane, -carbosilazane, -carbosiloxane

Sonstiges

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Falsche Übersetzung

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Bis heute kommt es immer wieder vor, dass das englische Wort „silicon“ (für Silicium) in populärwissenschaftlichen Medienbeiträgen oder bei Filmsynchronisationen fälschlich als „Silikon“ (engl. „silicone“) übersetzt bzw. ausgesprochen wird. Dies geschah beispielsweise in der Science-Fiction-Serie Star Trek, dem James-Bond-Agententhriller Im Angesicht des Todes oder in der Zeichentrickserie Die Simpsons. Beispiel: „Besteht die Lebensform aus Kohlenstoff oder aus Silikon?“[56] Auch in einer ZDFinfo-Dokumentation wurde erklärt, dass Solarzellen „Silikon enthalten“.[57]

Sogar in nicht übersetzten Texten wie dem 1980er-Jahre-Hit Monopoli fiel Songschreiber und Interpret Klaus Lage auf die falsche Verwendung herein, denn er textete: „[…] deinen Job macht jetzt ein Stück Silikon […]“.

Leben auf Siliciumbasis

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In der Science-Fiction wird Silicium oft als Alternative zu Kohlenstoff genannt, wenn es um Lebensformen geht; die beiden Elemente haben viele gemeinsame Eigenschaften. Die Bindung in längerkettigen Molekülen ist bei Silicium jedoch um ungefähr 14 schwächer als bei Kohlenstoff; das Kohlenstoff-Atom bietet auch deutlich mehr Möglichkeiten zur Doppel- und Dreifachbindung. Zudem ist Silicium in Gegenwart von wässrigen Lösungen oder von Sauerstoff nicht stabil. Daher ist die Wahrscheinlichkeit für siliciumbasiertes Leben (mit natürlich-evolutionärer Entwicklung analog zum Kohlenstoff-basierten Leben) nach aktuellem Wissenstand nur gering.[58]

Siehe auch

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Literatur

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  • Tracy L. Simpson, Benjamin E. Volcani: Silicon and siliceous structures in biological systems. Springer-Verlag, New York 1981, ISBN 3-540-90592-8.
  • Thomas Thomson: On the Daltonian Theory of Definite Proportions in Chemical Combinations. In: Annals of Philosophy. Band 2, 1813, S. 32.
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Wiktionary: Silicium – Bedeutungserklärungen, Wortherkunft, Synonyme, Übersetzungen
Commons: Silicium – Album mit Bildern, Videos und Audiodateien
Wikibooks: Siliciumverarbeitung – Lern- und Lehrmaterialien

Einzelnachweise

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  1. a b Harry H. Binder: Lexikon der chemischen Elemente. S. Hirzel, Stuttgart 1999, ISBN 3-7776-0736-3.
  2. Die Werte für die Eigenschaften (Infobox) sind, wenn nicht anders angegeben, aus www.webelements.com (Silicium) entnommen.
  3. Angegeben ist der von der IUPAC empfohlene Standardwert, da die Isotopenzusammensetzung dieses Elements örtlich schwanken kann, ergibt sich für das mittlere Atomgewicht der in Klammern angegebene Massenbereich. Siehe: Michael E. Wieser, Tyler B. Coplen: Atomic weights of the elements 2009 (IUPAC Technical Report). In: Pure and Applied Chemistry. 2010, S. 1, doi:10.1351/PAC-REP-10-09-14.
  4. IUPAC, Standard Atomic Weights Revised 2013.
  5. a b c d e Eintrag zu silicon in Kramida, A., Ralchenko, Yu., Reader, J. und NIST ASD Team (2019): NIST Atomic Spectra Database (ver. 5.7.1). Hrsg.: NIST, Gaithersburg, MD. doi:10.18434/T4W30F (physics.nist.gov/asd). Abgerufen am 11. Juni 2020.
  6. a b c d e Eintrag zu silicon bei WebElements, www.webelements.com, abgerufen am 11. Juni 2020.
  7. N. N. Greenwood, A. Earnshaw: Chemie der Elemente. 1988, ISBN 3-527-26169-9, S. 426.
  8. Robert C. Weast (Hrsg.): CRC Handbook of Chemistry and Physics. CRC (Chemical Rubber Publishing Company), Boca Raton 1990, ISBN 0-8493-0470-9, S. E-129 bis E-145 (Werte dort sind auf g/mol bezogen und in cgs-Einheiten angegeben. Der hier angegebene Wert ist der daraus berechnete maßeinheitslose SI-Wert).
  9. a b Yiming Zhang, Julian R. G. Evans, Shoufeng Yang: Corrected Values for Boiling Points and Enthalpies of Vaporization of Elements in Handbooks. In: Journal of Chemical & Engineering Data. 56, 2011, S. 328–337, doi:10.1021/je1011086.
  10. W. Zulehner, B. Neuer, G. Rau: Silicon. In: Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry. Wiley-VCH Verlag, Weinheim 2005, doi:10.1002/14356007.a23_721.
  11. a b Eintrag zu Silicium in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 30. April 2017. (JavaScript erforderlich)
  12. Schweizerische Unfallversicherungsanstalt (Suva): Grenzwerte – Aktuelle MAK- und BAT-Werte, abgerufen am 2. November 2015.
  13. Duden | Suchen | Silizium. Abgerufen am 9. April 2021.
  14. N. Figurowski: Die Entdeckung der chemischen Elemente und der Ursprung ihrer Namen. Aulis-Verlag Deubner, Köln 1981, ISBN 3-7614-0561-8, S. 142–143.
  15. Antoine-Laurent de Lavoisier: Traité élémentaire de chimie: présenté dans un ordre nouveau et d'après les découvertes modernes ... Chez Cuchet, 1789, S. 174– (google.com).
  16. Antoine Laurent Lavoisier: Elements of Chemistry: In a New Systematic Order; Containing All the Modern Discoveries. Mathew Carey, 1799, S. 218– (google.com).
  17. Humphrey Davy: Electro-Chemical Researches, on the Decomposition of the Earth; with Observations on the Metals obtained from the alkaline Earths, and on the Amalgam procured from Ammonia. In: W. Bowyer and J. Nichols for Lockyer Davis, printer to the Royal Society (Hrsg.): Philosophical Transactions of the Royal Society of London. 30. Juni 1808, S. 333– (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  18. Joseph-Louis Gay-Lussac, Louis Jacques Thénard: Recherches physico-chimiques, faites sur la pile; sur la préparation chimique et les propriétés du potassium et du sodium; sur la décomposition de l'acide boracique; sur les acides fluorique; muriatique et muriatique oxigéné; sur l'action chimique de la lumière; sur l'analyse végétale et animale; etc. Hrsg.: Deterville. Band 1, 1811, S. 313– (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  19. Joseph-Louis Gay-Lussac, Louis Jacques Thénard: Recherches physico-chimiques, faites sur la pile; sur la préparation chimique et les propriétés du potassium et du sodium; sur la décomposition de l'acide boracique; sur les acides fluorique; muriatique et muriatique oxigéné; sur l'action chimique de la lumière; sur l'analyse végétale et animale; etc. Hrsg.: Deterville. Band 2, 1811, S. 55– (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  20. Mary Elvira Weeks: Discovery of the Elements. 6th Edition Auflage. Journal Of Chemical Education, Detroit 1960, S. 586–588 (Internet Archive).
  21. Thomas Thomson: A System of Chemistry in Four Volumes. 5. Ausgabe, Band 1, Baldwin, Cradock, and Joy, London 1817, S. 252 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  22. Webmineral – Mineral Species sorted by the element Si (Silicon).
  23. Silicon. In: mindat.org. Abgerufen am 11. Juni 2024 (englisch).
  24. M. R. Calomme, D. A. Vanden Berghe: Supplementation of calves with stabilized orthosilicic acid: Effect on the Si, Ca, Mg, and P concentrations in serum and the collagen concentration in skin and cartilage. In: Biological Trace Element Research. Band 56, Nr. 2, 1997, S. 153–165, doi:10.1007/BF02785389.
  25. A. F. Holleman, E. Wiberg, N. Wiberg: Lehrbuch der Anorganischen Chemie. 101. Auflage. Walter de Gruyter, Berlin 1995, ISBN 3-11-012641-9, S. 880.
  26. Sandra Göbel: Silicium. In: Artikel: Silicium. apotheken.de, 31. Juli 2020, abgerufen am 4. September 2020.
  27. Critical Raw Materials Europäische Kommission, 24. August 2022 (Informationen über kritische Rohstoffe in der EU).
  28. U.S. Geological Survey, Mineral Commodity Summaries 2022: SILICON.
  29. a b U.S. Geological Survey, Mineral Commodity Summaries, Silicon 2021
  30. Erhard Sirtl, Konrad Reuschel: Über die Reduktion von Chlorsilanen mit Wasserstoff. In: Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. Band 332, Nr. 3–4, Oktober 1964, S. 113–123, doi:10.1002/zaac.19643320302.
  31. Abschreibung auf Silizium-Fabriken reißt Wacker in rote Zahlen. (Memento des Originals vom 14. Juni 2020 im Internet Archive)  Info: Der Archivlink wurde automatisch eingesetzt und noch nicht geprüft. Bitte prüfe Original- und Archivlink gemäß Anleitung und entferne dann diesen Hinweis.@1@2Vorlage:Webachiv/IABot/de.reuters.com Pressemeldung der Nachrichtenagentum Reuters, 5. Dezember 2019 (Über den größten deutschen Hersteller von Solarsilicium Wacker Chemie, Burghausen).
  32. Polysilicium von wWacker – Damit aus Sonne Strom wird. (PDF; 1,1 MB) Firmenschrift der Wacker AG, 2016, S. 8, abgerufen am 14. Januar 2020.
  33. William Vorsatz: Große gewinnen. In: photovoltaik. Nr. 7, 2009 (pv-magazine.de).
  34. Hermann Sicius: Kohlenstoffgruppe: Elemente der vierten Hauptgruppe Eine Reise durch das Periodensystem. Springer-Verlag, 2015, ISBN 978-3-658-11166-3, S. 21 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  35. P. Biermayr et al.: Innovative Energietechnologien in Österreich Marktentwicklung 2021. In: PV Austria. Bundesministerium für Klimaschutz, Umwelt, Energie, Mobilität, Innovation und Technologie (BMK), 1. Januar 2022, abgerufen am 7. Juli 2022 (deutsch, Abb. 53: – Installierte Solarzellentypen in Österreich 2010 bis 2021).
  36. Marcello Pirani: Elektrothermie Die elektrische Erzeugung und technische Anwendung hoher Temperaturen. Springer-Verlag, 2013, ISBN 978-3-642-92778-2, S. 129 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  37. ShinEtsu.co.jp: Reinheitsangabe '99,999999999%' (Memento vom 8. Mai 2013 im Internet Archive)
  38. Fumio Shimura: Single-Crystal Silicon: Growth and Properties. In: Springer Handbook of Electronic and Photonic Materials. Springer International Publishing, Cham 2017, ISBN 978-3-319-48931-5, S. 1–1, doi:10.1007/978-3-319-48933-9_13.
  39. S. M. Sze, M. K. Lee: Semiconductor Devices: Physics and Technology. 3. Auflage. Wiley, New York, NY 2012, ISBN 0-470-53794-9.
  40. Christiana Honsberg, Stuart Bowden: Optical Properties of Silicon. Abgerufen am 18. Juni 2007.
  41. Edward D. Palik, Gorachand Ghosh: Handbook of optical constants of solids. Academic Press, San Diego 1998, ISBN 0-12-544420-6.
  42. A. Hedler: Plastische Deformation von amorphem Silizium unter Hochenergie-Ionenbestrahlung. Dissertation. 2006, S. 27 (urn:nbn:de:gbv:27-dbt-005950-2).
  43. a b André Stapf, Christoph Gondek, Edwin Kroke, Gerhard Roewer: Wafer Cleaning, Etching, and Texturization. In: Handbook of Photovoltaic Silicon. Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg 2019, ISBN 978-3-662-56471-4, S. 311–358, doi:10.1007/978-3-662-56472-1_17.
  44. A. F. Holleman, E. Wiberg, N. Wiberg: Lehrbuch der Anorganischen Chemie. 102. Auflage. Walter de Gruyter, Berlin 2007, ISBN 978-3-11-017770-1, S. 922.
  45. Sadao Adachi: Properties of Group-IV, III-V and II-VI Semiconductors. John Wiley & Sons, 2005, ISBN 0-470-09032-4.
  46. Jan Korvnik, Andreas Greine: Semiconductors for Micro- and Nanotechnology. Wiley-VCH, Weinheim 2005, ISBN 3-527-30257-3.
  47. a b c Matthew A. Hopcroft, William D. Nix, Thomas W. Kenny: What is the Young’s Modulus of Silicon? In: Journal of Microelectromechanical Systems. Band 19, Nr. 2, 2010, S. 229–238, doi:10.1109/JMEMS.2009.2039697.
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  49. Jack S. Kilby: Invention of the integrated circuit. In: IEEE Transactions on Electron Devices. Band 23, Nr. 7, 1976, S. 648–654.
  50. a b Ernst-Christian Koch, Dominik Clément: Special Materials in Pyrotechnics: VI. Silicon-An Old Fuel with New Perspectives. In: Propellants Explosives Pyrotechnics. Band 32, Nr. 3, 2007, S. 205–212, doi:10.1002/prep.200700021.
  51. Bernhard Ilschner, Robert Singer: Werkstoffwissenschaften und Fertigungstechnik – Eigenschaften, Vorgänge, Technologien. 5. Auflage. Springer, 2010, S. 350.
  52. Jürgen Ruge, Helmut Wohlfahrt: Technologie der Werkstoffe – Herstellung, Verarbeitung, Einsatz. 9. Auflage. Springer, 2013, S. 286.
  53. Markus Böhm: Uhrentechnik: Darum wird der Unruhspirale soviel Aufmerksamkeit geschenkt. In: Der Standard. 24. Juni 2019, abgerufen am 3. April 2021.
  54. D. Kovalev, V. Yu. Timoshenko, N. Künzner, E. Gross, F. Koch: Strong Explosive Interaction of Hydrogenated Porous Silicon with Oxygen at Cryogenic Temperatures. In: Physical Review Letters. Band 87, Nr. 6, 2001, S. 683011–683014, doi:10.1103/PhysRevLett.87.068301.
  55. Patrick Vogt u. a.: Silicene: Compelling Experimental Evidence for Graphenelike Two-Dimensional Silicon. In: Physical Review Letters. Band 108, Nr. 15, 12. April 2012, S. 155501, doi:10.1103/PhysRevLett.108.155501.
  56. Dr. Hibbert in: Die Akte Springfield. (engl. The Springfield Files) Staffel 8, Episode 1, deutsche Erstausstrahlung am 24. Oktober 1997.
  57. klima-luegendetektor.de: ZDF: Silikon im Hirn. 25. März 2021, abgerufen am 2. September 2024 (deutsch).
  58. Siliziumbasiertes Leben – Exoplaneten.de – Siliziumbasiertes Leben. 31. Dezember 2019, abgerufen am 17. September 2020.