| Werk | |
|---|---|
| Autor | Gary S. May, S. M. Sze |
| Titel | Fundamentals of semiconductor fabrication |
| Verlag | Wiley & Sons |
| Datum | 2004 |
| Identifikation
| |
| ISBN | ISBN 0-471-45238-6 |
| Werk | |
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| Autor | Gary S. May, S. M. Sze |
| Titel | Fundamentals of semiconductor fabrication |
| Verlag | Wiley & Sons |
| Datum | 2004 |
| Identifikation
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| ISBN | ISBN 0-471-45238-6 |