Zirconiumdisilicid

Kristallstruktur
	_ Zr 0 _ Si
Allgemeines
Name	Zirconiumdisilicid
Andere Namen	Zirkoniumdisilizid; Zirconiumsilicid (mehrdeutig);
Verhältnisformel	ZrSi2
Kurzbeschreibung	grauer geruchloser Feststoff
Externe Identifikatoren/Datenbanken
EG-Nummer	234-911-1
ECHA-InfoCard	100.031.725
PubChem	6336892
Wikidata	Q8072751
Eigenschaften
Molare Masse	147,39 g·mol−1
Aggregatzustand	fest
Dichte	4,88 g·cm−3
Schmelzpunkt	1520 °C
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung	keine GHS-Piktogramme
	keine GHS-Piktogramme
H- und P-Sätze	H: keine H-Sätze
	P: keine P-Sätze
	Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet.; Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Zirconiumdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Zirconiums aus der Gruppe der Silicide.

Gewinnung und Darstellung

Zirconiumdisilicid kann durch Reaktion von Zirconium oder Zirconiumhydrid mit Silicium gewonnen werden.^[2]

\mathrm {Zr+2\ Si\longrightarrow ZrSi_{2}}

Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Umsetzung von Zirconium mit Siliciumtetrachlorid.^[2]

Es bildet sich auch bei der Reaktion von Zirconiumdioxid mit Silicium.^[3]

\mathrm {3\ Si+ZrO_{2}\longrightarrow ZrSi_{2}+SiO_{2}}

Eigenschaften

Zirconiumdisilicid ist ein metallisch glänzender, grauer und geruchloser^[1] kristalliner Feststoff mit guter thermischer und elektrischer Leitfähigkeit. Er besitzt orthorhombische Kristallstruktur mit der Raumgruppe Cmcm (Raumgruppen-Nr. 63)Vorlage:Raumgruppe/63. Die Kristallstruktur enthält zwei kristallographisch verschiedene Siliciumatome. Eines bildet Schichten aus Si₄-Quadraten, das andere Zickzackketten. Siliciumdisilicid ist unlöslich in Wasser^[1] und Mineralsäuren mit Ausnahme von Flusssäure. Es verbrennt beim Glühen an Luft. Zu beachten ist, dass neben Zirconiumdisilicid weitere Zirconiumsilicide bekannt sind. So Zr₃Si mit einer tetragonalen Kristallstruktur isotyp zu der von Ti₃P, Zr₂Si mit einem Schmelzpunkt von 2110 °C, einer Dichte von 6,22 und tetragonaler Kristallstruktur isotyp zu der von CuAl₂, Zr₃Si₂ mit einer Schmelztemperatur von 2225 °C und einer tetragonalen Kristallstruktur isotyp zu der von U₃Si₂, Zr₅Si₄ mit einer tetragonalen Kristallstruktur und Zirconiummonosilicid ZrSi mit einer Schmelztemperatur von 2095 °C und zwei orthorhombische Formen isotyp zu denen von Eisenborid oder Chromborid.^[2]

Verwendung

Zirconiumdisilicid wird in der Halbleiterindustrie als Sputtermaterial zur Erzeugung von widerstandsfähigen Schichten in elektronischen Schaltkreisen verwendet.^[4]

Einzelnachweise

↑ ^a ^b ^c ^d ^e ^f Datenblatt Zirconium silicide, 99.5% (metals basis excluding Hf), Hf 2-4% bei Alfa Aesar, abgerufen am 16. Juni 2013 (Seite nicht mehr abrufbar).
↑ ^a ^b ^c ^d Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band II, Ferdinand Enke, Stuttgart 1978, ISBN 3-432-87813-3, S. 1389.
↑ Satischandra B. Ogale: Thin Films and Heterostructures for Oxide Electronics. Springer, 2005, ISBN 0-387-25802-7, S. 38 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
↑ Dale L. Perry: Handbook of Inorganic Compounds, Second Edition. Taylor & Francis US, 2011, ISBN 1-4398-1462-7, S. 475 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[Alfa-1] ↑ ^a ^b ^c ^d ^e ^f Datenblatt Zirconium silicide, 99.5% (metals basis excluding Hf), Hf 2-4% bei Alfa Aesar, abgerufen am 16. Juni 2013 (Seite nicht mehr abrufbar).

[brauer-2] Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band II, Ferdinand Enke, Stuttgart 1978, ISBN 3-432-87813-3, S. 1389.

[Satischandra_B._Ogale-3] Satischandra B. Ogale: Thin Films and Heterostructures for Oxide Electronics. Springer, 2005, ISBN 0-387-25802-7, S. 38 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[Dale_L._Perry-4] Dale L. Perry: Handbook of Inorganic Compounds, Second Edition. Taylor & Francis US, 2011, ISBN 1-4398-1462-7, S. 475 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

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[2]

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