Mikroelektronik und Halbleiter
- Bo Lojek: History of Semiconductor Engineering. Springer, Berlin 2007, ISBN 978-3-540-34257-1.
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- Ulrich Tietze, Christoph Schenk, Eberhard Gamm: Halbleiter-Schaltungstechnik. 11., völlig neu bearb. und erw. Auflage. Springer, Berlin / Heidelberg 1999, ISBN 3-540-64192-0.
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- Gary S. May, S. M. Sze: Fundamentals of semiconductor fabrication. Wiley & Sons, 2004, ISBN 0-471-45238-6.
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- Prosenjit Rai-Choudhury (Hrsg.): Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. Institution of Engineering and Technology, London 1997, ISBN 0-85296-906-6.
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- Simon M. Sze, Kwok K. Ng: Physics of Semiconductor Devices. 3. Auflage. John Wiley & Sons, Hoboken NJ 2006, ISBN 0-471-14323-5.
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- Peter Y. Yu, Manuel Cardona: Fundamentals of Semiconductors: Physics and Materials Properties. 3. Auflage. Springer, Berlin 2004, ISBN 3-540-41323-5.
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Sonstige Standardwerke
- David R. Lide (Hrsg.): CRC Handbook of Chemistry & Physics. a ready-reference book of chemical and physical data. 87. Auflage. CRC Press, Boca Raton FL 2006, ISBN 0-8493-0487-3 (englisch).
→ {{BibISBN|0849304873}}
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