Monofluorsilan

chemische Verbindung

Monofluorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.

Strukturformel
Strukturformel von Monofluorsilan
Keile zur Verdeutlichung der Geometrie
Allgemeines
Name Monofluorsilan
Andere Namen

Fluorsilan

Summenformel SiH3F
Kurzbeschreibung

farbloses Gas[1]

Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 13537-33-2
EG-Nummer 236-909-6
ECHA-InfoCard 100.033.539
PubChem 66390
Wikidata Q16712763
Eigenschaften
Molare Masse 50,11 g·mol−1
Aggregatzustand

gasförmig

Dichte

2,048 g·l−1[1]

Schmelzpunkt

−98,6 °C[2]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung
keine Einstufung verfügbar[3]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet.
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Gewinnung und Darstellung

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Monofluorsilan kann durch Reaktion von Fluormethan mit Silicium[4] oder Reaktion von Silylmethylether mit Bortrifluorid[5] oder Reaktion von Monochlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.[6]

 

Eigenschaften

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Monofluorsilan ist ein farbloses Gas.[1] Es besitzt als Feststoff bei 96 K eine monokline Kristallstruktur mit der Raumgruppe P21/n (Raumgruppen-Nr. 14, Stellung 2)Vorlage:Raumgruppe/14.2 und geht bei Normaldruck direkt in den gasförmigen Zustand über.[7]

Verwendung

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Monofluorsilan kann zur Herstellung von Siliciumschichten verwendet werden.[8]

Einzelnachweise

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  1. a b c William M. Haynes: CRC Handbook of Chemistry and Physics, 93rd Edition. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-4398-8050-0, S. 87 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  2. Dale L. Perry: Handbook of Inorganic Compounds, Second Edition. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-4398-1462-8, S. 179 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  3. Dieser Stoff wurde in Bezug auf seine Gefährlichkeit entweder noch nicht eingestuft oder eine verlässliche und zitierfähige Quelle hierzu wurde noch nicht gefunden.
  4. Han-Gook Cho: Investigation of Reaction Paths from Si + CH4 to C + SiH4 and from Si + CH3F to C + SiH3F: Intrinsic Reaction Coordinate Studies. In: Journal of the Korean Chemical Society. 60, 2016, S. 149, doi:10.5012/jkcs.2016.60.2.149.
  5. Advances in Inorganic Chemistry and Radiochemistry. Academic Press, 1961, ISBN 978-0-08-057852-1, S. 236 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  6. C. C. Addison: Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements. Royal Society of Chemistry, 1973, ISBN 978-0-85186-752-6, S. 188 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  7. A. J. Blake, E. A. V. Ebsworth, S. G. D. Henderson, A. J. Welch: Structure of silyl fluoride, SiH3F, at 96 K. In: Acta Crystallographica Section C Crystal Structure Communications. 41, S. 1141, doi:10.1107/S0108270185006904.
  8. Akihisa Matsuda, Kiyoshi Yagii, Takao Kaga, Kazunobu Tanaka: Glow-Discharge Deposition of Amorphous Silicon from SiH3F . In: Japanese Journal of Applied Physics. 23, 1984, S. L576, doi:10.1143/JJAP.23.L576.