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Artikel des Tages
Die Thermische Oxidation von Silizium ist in der Halbleitertechnik ein Beschichtungsverfahren, bei dem auf einem einkristallinen Siliziumsubstrat (beispielsweise einem Silizium-Wafer) eine dünne Schicht aus amorphem Siliziumdioxid aufgebracht wird. Es wird unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen eingesetzt. Der Beschichtungsprozess basiert auf einer chemischen Reaktion von Sauerstoff und Silizium bei Temperaturen über 1100 °C. Bei sehr kurzen Prozesszeiten nennt man das Verfahren auch Rapid Thermal Oxidation (RTO, dt.: „schnelle thermische Oxidation“), das zur Erzeugung von sehr dünnen Oxidschichten (< 2 nm) dient. Ein ähnliches Verfahren ist die Erzeugung einer thermischen Siliziumnitrid-Schicht auf einem Siliziumsubstrat bei hohen Temperaturen. – Zum Artikel …
Was geschah am 4. März?
- 1386 – Jagiełło wird in Krakau zum polnischen König gekrönt und ist damit seiner Frau Jadwiga gleichgestellt, die bereits gekrönter „König“ von Polen war.
- 1931 – Im texanischen San Antonio wird der Kardinal und Erzbischof von Baltimore William Henry Keeler geboren.
- 1956 – Die lettisch-deutsche Malerin der Moderne Selma Des Coudres stirbt in Fürstenfeldbruck.
- 1966 – John Lennon äußert in einem Interview mit dem Evening Standard, die Beatles seien „populärer als Jesus“ und löst damit ausgedehnte Proteste im amerikanischen Bible Belt aus.
- 2001 – Mit deutlicher Mehrheit wird in der Schweiz die Volksinitiative zur Aufnahme von EU-Beitrittsverhandlungen abgelehnt.
In den Nachrichten
- Wegen des Verdachts der Bestechlichkeit hat der Deutsche Bundestag die Immunität des CDU-Abgeordneten Axel Fischer (Bild) aufgehoben.
- Laut Presseberichten hat das Bundesamt für Verfassungsschutz die Alternative für Deutschland als rechtsextremistischen Verdachtsfall eingestuft.
- Bei der Verleihung der Golden Globe Awards wurden die Filme Borat Anschluss Moviefilm, Nomadland und Soul mit je zwei Preisen ausgezeichnet. In den Fernsehkategorien dominierte die Serie The Crown.
Kürzlich Verstorbene
- Gleb Poljakow (90), sowjetischer bzw. russischer Geologe († 4. März)
- Władysław Baka (84), polnischer Wirtschaftswissenschaftler († ≤3. März)
- Katharina Matz (90), deutsche Schauspielerin († 3. März)
- Nikolai Jablokow (95), sowjetischer Kriminalist († 2. März)
- Shinoda Tōkō (107), japanische Künstlerin († 1. März)
Schon gewusst?
- Auf Braunschweiger Notgeld finden sich zuweilen derbe Sprüche Till Eulenspiegels.
- Die NAMMCO setzt sich für eine nachhaltige Robben- und Waljagd ein.
- Die Braune Jägerspinne duldet ihre Nachkommen fast überall auf ihrem Körper.
- In der Eule auf der Warte organisierten sich die Eilenburger Freimaurer.