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Akustische Mikroskopie

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Acoustic microscopy is microscopy that employs very high or ultra high frequency ultrasound . Acoustic microscopes operate nondestructively and penetrate most solid materials to make visible images of internal features, including defects such as cracks, delaminations and voids . Akustische Mikroskopie ist Mikroskopie, bei der sehr hohen oder Ultrahochfrequenzband Ultraschall. Akustische Mikroskope arbeiten nondestructively und durchdringen den meisten festen Materialien, um sich die Bilder von internen Funktionen, einschließlich der Fehler wie Risse, Delaminationen und Hohlräume.

Contents Inhalt [hide] 1 Types of acoustic microscopes 1 Arten von akustischen Mikroskope 2 Behavior of ultrasound in materials 2 Verhalten von Ultraschall in der Materialforschung 3 Sample types and preparation 3 Probe und Vorbereitung 4 Ultrasonic frequencies 4 Ultraschall-Frequenzen 5 Scanning process 5 Scanning-Prozess 5.1 Gating Of the Return Echoes 5/1 Anschnittoptionen der Rückkehr Echoes 6 Other Image Types 6 Sonstige Image Typen 7 History 7 Geschichte 8 Range of Applications 8 Spektrum von Anwendungen 9 References 9 Referenzen 10 External links 10 Externe Links 11 Photo Gallery 11 Photo Gallery

[ edit ] Types of acoustic microscopes [Bearbeiten] Typen von akustischen Mikroskope In the half-century since the first experiments directly leading to the development of acoustic microscopes, at least three basic types of acoustic microscope have been developed. In den fünfzig Jahren seit der ersten Experimente direkt zu der Entwicklung von akustischen Mikroskope, mindestens drei Arten von akustischen Mikroskop entwickelt worden. These are the scanning acoustic microscope (SAM), scanning laser acoustic microscope (SLAM), and C-mode scanning acoustic microscope (C-SAM) [ 1 ] . Dies sind die akustischen Scanning Mikroskop (SAM), Laser-Scanning-Mikroskop akustische (SLAM), und C-Scan-Modus akustischen Mikroskop (C-SAM) [1]. For details of development see the History section below. Einzelheiten der Entwicklung der Geschichte siehe weiter unten. Since the vast majority of acoustic microscopes in use today are C-SAM type instruments, this discussion will be limited to these instruments. Da die überwiegende Mehrheit der akustische Mikroskope heute im Einsatz sind C-SAM Art Instrumente, diese Diskussion wird sich auf diese Instrumente.

[ edit ] Behavior of ultrasound in materials [Bearbeiten] Verhalten von Ultraschall in der Materialforschung Ultrasound is broadly defined as any sound having a frequency above 20,000 Hz, which is approximately the highest frequency that can be detected by the human ear. Ultraschall ist weitgehend definiert als jeder Ton mit einer Frequenz oberhalb 20.000 Hz, was etwa die höchste Frequenz, kann durch das menschliche Ohr. However, the acoustic microscopes emit ultrasound ranging from 5 MHz to beyond 400 MHz so that micrometre size resolution can be achieved. Allerdings ist die akustische Mikroskope emittieren Ultraschall von 5 MHz bis über 400 MHz, so dass Mikrometer Größe Auflösung erreicht werden kann. The ultrasound that penetrates a sample may be scattered, absorbed or reflected by the internal features or the material itself. Der Ultraschall dringt, dass eine Probe kann verstreut, absorbiert oder reflektiert durch die internen Funktionen oder das Material selbst. These actions are analogous to the behavior of light. Diese Maßnahmen sind analog zum Verhalten des Lichts. Ultrasound that is reflected from an internal feature, or (in some applications) that has traveled through the entire thickness of the sample, is used to make acoustic images. Ultraschall, die sich aus einer internen Funktion, oder (in einigen Anwendungen), hat reiste durch die gesamte Dicke der Probe, wird benutzt, um akustische Bilder.

[ edit ] Sample types and preparation [Bearbeiten] Sample-Typen und die Vorbereitung Samples need no special treatment before acoustic imaging, but they should be able to withstand at least brief exposure to water or to another fluid, since air is a very poor transmitter of high frequency acoustic energy from the transducer. Proben benötigen keine besondere Behandlung vor akustische Imaging, aber sie sollten in der Lage sein, um zumindest kurze Exposition zu Wasser oder zu einem anderen Flüssigkeit, da die Luft ist ein sehr armes Sender mit hoher Frequenz akustische Energie aus dem Wandler. The sample may be completely immersed in the water, or scanned with a narrow stream of water. Die Probe kann es sich um völlig eingetaucht in das Wasser, oder gescannt mit einem schmalen Strom von Wasser. Alternately, alcohols and other fluids can be used so as to not contaminate the sample. Alternativ, Alkohol und andere Flüssigkeiten verwendet werden können, um die Probe nicht kontaminieren. Samples typically have at least one flat surface that scan be scanned, although cylindrical and spherical samples can also be scanned with the proper fixtures. Die Proben haben in der Regel mindestens eine flache Oberfläche, Scan gescannt werden, wenn auch zylindrische und kugelförmige Proben können auch gescannt werden mit der richtigen Ausstattung.

In the following paragraphs, the sample being described is a plastic-encapsulated integrated circuit. In den folgenden Abschnitten, die Stichprobe beschrieben, ist ein Kunststoff-gekapselten integrierten Schaltung. An acoustic image showing internal features of this sample is shown above, and is described in detail below. Ein akustisches Bild zeigen interne Funktionen dieser Probe ist oben und wird im Folgenden detailliert beschrieben.

[ edit ] Ultrasonic frequencies [Bearbeiten] Ultraschall-Frequenzen The ultrasonic frequencies pulsed into samples by the transducers of acoustic microscopes range from a low of 10 MHz (rarely, 5 MHz) to a high of 400 MHz or more. Die Ultraschall-Frequenzen gepulst in Proben von der Wandler von akustischen Mikroskope reichen von einem Tiefstand von 10 MHz (selten, 5 MHz) zu einem Höchstwert von 400 MHz oder mehr. Across this spectrum of frequencies there is a trade-off of penetration and resolution. In diesem Spektrum von Frequenzen gibt es einen Trade-off der Penetration und Auflösung. Ultrasound at low frequencies such as 10 MHz penetrates deeper into materials than ultrasound at higher frequencies, but the spatial resolution of the acoustic image is less. Ultraschall bei niedrigen Frequenzen wie z. B. 10 MHz dringt tiefer in Materialien als Ultraschall bei höheren Frequenzen, aber die räumliche Auflösung der akustischen Bild ist weniger. On the other hand, ultrasound at very high frequencies do not penetrate deeply, but provide acoustic images having very high resolution. Auf der anderen Seite, Ultraschall mit sehr hohen Frequenzen nicht tief, aber die akustische Bilder mit sehr hoher Auflösung. The frequency chosen to image a particular sample will depend on the geometry of the part and on the materials involved. Die Frequenz gewählt, um ein bestimmtes Bild Probe hängt von der Geometrie des Teils und die Materialien an.

The acoustic image of the plastic-encapsulated IC above was made using a 30 MHz transducer because this frequency provides a good compromise between penetration and image resolution. Das akustische Bild der Kunststoff-gekapselten IC oben wurde mit einem 30 MHz-Wandler, da diese Frequenz bietet einen guten Kompromiss zwischen Eindringtiefe und Auflösung.

[ edit ] Scanning process [Bearbeiten] Scan-Prozess The ultrasonic transducer raster-scans the top surface of the sample. Die Ultraschall-Wandler Raster-Scan der Oberfläche der Probe. Several thousand pulses enter the sample each second. Mehrere tausend Impulse in die Probe pro Sekunde. Each pulse may be scattered or absorbed in passing through homogeneous parts of the sample. Jeder Impuls kann verstreut oder in absorbiert durch homogene Teile der Probe. At material interfaces, a portion of the pulse is reflected back to the transducer, where it is received and its amplitude recorded. Auf Material-Schnittstellen, einen Teil der Puls sich wieder auf den Wandler, wo sie empfangen und ihre Amplitude aufgezeichnet.

In the acoustic image and side-view diagram of the plastic-encapsulated IC above, ultrasound was pulsed through the black mold compound (plastic), and reflected from: In der Bild-und akustische seitlichen Darstellung der Kunststoff-gekapselten IC vor, Ultraschall gepulst wurde durch den schwarzen Schimmel Verbindung (Kunststoff), und sich aus:

the interface between the overlying mold compound and the top surface of the silicon die. die Schnittstelle zwischen dem darüberliegenden Form und mit der Oberseite der Silizium sterben. the interface between the overlying mold compound and the top surface of the die paddle. die Schnittstelle zwischen dem darüberliegenden Form und mit der Oberseite der die Paddel. the interface between the overlying mold compound and delaminations (red) on top of the die paddle. die Schnittstelle zwischen dem darüberliegenden Schimmel mit und Delaminationen (rot) auf dem die Paddel. the interface between the overlying mold compound and the outer portion (lead fingers) of the lead frame. die Schnittstelle zwischen dem darüberliegenden Form und mit den äußeren Teil (Blei Finger) des Rahmens führen. The portion of the pulse that is reflected is determined by the “Acoustic Impedance”, Z, of the each material that meets at the interface. Der Anteil der Puls, die sich wird durch die "akustische Impedanz", Z, der jedes Material, das an der Schnittstelle. The acoustic impedance of a given material is the material's density multiplied by the speed of ultrasound in that material. Die akustische Impedanz eines Materials ist das Material der Dichte, multipliziert mit der Geschwindigkeit von Ultraschall in diesem Material. When a pulse of ultrasound encounters an interface between two materials, the degree of ultrasonic reflection from that interface is governed by this formula: Wenn ein Impuls von Ultraschall Begegnungen eine Schnittstelle zwischen zwei Materialien, der Grad der Reflexion von Ultraschall-Schnittstelle ist, dass durch diese Formel:

where R is the fraction of reflection, and z 1 and z 2 are the acoustic impedances of the two materials. R ist der Anteil der Reflexion, und z 1 und z 2 sind die akustischen Impedanzen der beiden Materialien.

If both materials are typical solids, the degree of reflection will be moderate, and a significant portion of the pulse will travel deeper into the sample, where it may be in part reflected by deeper material interfaces. Wenn beide Materialien sind typisch für Feststoffe, der Grad der Reflexion wird mäßig, und ein erheblicher Teil der Reise-Puls wird immer tiefer in die Stichprobe einbezogen wurden, wo sie können zum Teil Ausdruck von tiefer Material Schnittstellen. If one of the materials is a gas such as air - as in the case with delaminations, cracks and voids - the degree of reflection at the solid-to-gas interface is near 100%, the amplitude of the reflected pulse is very high, and practically none of the pulse travels deeper into the sample. Wenn eines der Materialien ist ein Gas, wie Luft - wie im Fall mit Delaminationen, Risse und Hohlräume - der Grad der Reflexion an der Fest-zu-Gas-Schnittstelle ist in der Nähe von 100%, die Amplitude der reflektierten Puls ist sehr hoch, und praktisch keiner der Puls fährt tiefer in die Probe.

[ edit ] Gating Of the Return Echoes [Bearbeiten] Anschnittoptionen der Rückkehr Echoes A pulse of ultrasound from the transducer might travel nanoseconds or microseconds to reach an internal interface and be reflected back to the transducer. Ein Puls der Ultraschall-Wandler kann von der Reise Nanosekunden oder Mikrosekunden, um eine interne Schnittstelle und sich zurück zu den Wandler. If there are several internal interfaces at different depths, the echoes will arrive at the transducer at different times. Wenn es mehrere interne Schnittstellen in verschiedenen Tiefen, die Echos erreichen den Wandler zu unterschiedlichen Zeiten. Planar acoustic images do not often use all return echoes from all depths to make the visible acoustic image. Planar akustische Bilder nicht oft alle Echos Rückkehr aus allen Tiefen, um die akustische Bild sichtbar. Instead, a time window is created that accepts only those return echoes from the depth of interest. Stattdessen wird ein Zeitfenster geschaffen wird akzeptiert, dass nur die Rückkehr Echos aus der Tiefe des Interesses. This process is known as “gating” the return echoes. Dieser Prozess ist bekannt als "gating" die Rückkehr Echos.

In the image of the plastic-encapsulated IC above, gating was on a depth that included the silicon die, the die paddle and the lead frame. In das Bild der Kunststoff-gekapselten IC vor, gating wurde auf eine Tiefe, dass auch die Silizium sterben, die die Paddel und die Lead Frame.

Still scanning the top of the sample, the gating of the return echoes was then changed to include only the plastic encapsulant (mold compound) above the die. Scannen noch Anfang der Probe, die Abtastzeit der Rückkehr Echos wurde dann geändert, nur die Kunststoff-encapsulant (Schimmel-Verbindung) über die sterben. The resulting acoustic image is shown above. Die sich daraus ergebende akustische Bild oben gezeigt. It shows the structure of the particle-filled plastic mold compound, as well as the circular mold marks at the top surface of the component. Es zeigt die Struktur der Partikel-gefüllt Spritzgussformenbau Verbindung, sowie die runde Form ist an der Oberfläche des Bauteils. The small white features are voids (trapped bubbles) in the mold compound. Die kleinen weißen Funktionen sind Hohlräume (eingeschlossene Luftblasen) in der Form sind. (These voids are also visible in the previous image as dark acoustic shadows.) (Diese Hohlräume sind auch in der vorangegangenen Bild als akustische dunkle Schatten.)

Gating was then changed to include only depth of the die attach material that attaches the silicon die to the die paddle. Gating wurde dann geändert, nur die Tiefe des Materials legen, dass das Silizium misst die auf die die Paddel. The die, the die paddle, and other features above and below the die attach depth are ignored. Die sterben, die die Paddel, und andere Funktionen oberhalb und unterhalb der die Tiefe legen, werden ignoriert. In the resulting acoustic image, shown above slightly magnified, the red areas are voids (defects) in the die attach material. In der daraus resultierenden akustischen Bild, oben leicht vergrößert, die roten Bereiche sind Hohlräume (Fehler) in der die Material befestigen.

Finally, the plastic-encapsulated IC was flipped over and imaged from the back side. Schließlich ist die Kunststoff-IC gekapselt wurde umgedreht und bebildert von der Rückseite. The return echoes were gated on the depth where the backside mold compound interfaces with the back side of the die paddle. Die Rückkehr Echos gated wurden von der Tiefe, wo der Schimmel Rückseite mit Schnittstellen mit der Rückseite der die Paddel. The small black dots in the acoustic image above are small voids (trapped bubbles) in the mold compound. Die kleinen schwarzen Punkte in der akustischen Bild oben sind kleine Hohlräume (eingeschlossene Luftblasen) in der Form sind.

[ edit ] Other Image Types [Bearbeiten] Andere Image-Typen The acoustic images shown above are all planar images, so named because they make visible a horizontal plane within the sample. Die akustischen Bilder oben sind alle planaren Bilder, so genannt, weil sie sich einer horizontalen Ebene in der Probe. The acoustic data received in the return echo signals can also be used to make other types of images, including three-dimensional images, cross-sectional images, and thru-scan images. Die akustischen Daten, die bei der Rückkehr echo-Signale können auch dazu verwendet werden, um andere Arten von Bildern, darunter auch drei-dimensionale Bilder, Querschnitt-Bilder, und Thru-Scan-Bilder. Some of these types are illustrated in the Photo Gallery. Einige dieser Arten sind in der Fotogalerie.

[ edit ] History [Bearbeiten] Geschichte The notion of acoustic microscopy dates back to 1936 when S. Ya. Der Begriff der akustischen Mikroskopie stammt aus dem Jahr 1936, als S. Ya. Sokolov [ 2 ] proposed a device for producing magnified views of structure with 3-GHz sound waves. Sokolov [2] vorgeschlagen, ein Gerät für die Herstellung von vergrößerte Ansichten der Struktur mit 3-GHz Schallwellen. However, due to technological limitations at the time, no such instrument could be constructed, and it was not until 1959 that Dunn and Fry [ 3 ] performed the first acoustic microscopy experiments, though not at very high frequencies. Jedoch, aufgrund des technischen Beschränkungen in der Zeit, kein solches Instrument könnte konstruiert werden, und es war nicht bis 1959, dass Dunn und Fry [3] die erste akustische Mikroskopie Experimente, wenn auch nicht bei sehr hohen Frequenzen.

The scientific literature shows very little progress toward an acoustic microscope following the Dunn and Fry experiments up until about 1970 when two groups of activity emerged, one headed by CF Quate (Stanford University) and the other by A. Korpel and LW Kessler (Zenith Radio Research Labs). Die wissenschaftliche Literatur zeigt sehr wenig Fortschritte auf dem Weg zu einem akustischen Mikroskop nach Dunn und Fry Experimente bis etwa 1970, als zwei Gruppen von Aktivitäten entstanden, eine Leitung von CF quates (Stanford University) und die anderen von A. Korpel und LW Kessler (Zenith Radio Research Labs). The first efforts to develop an operational acoustic microscope concentrated upon high-frequency adaptations of low-frequency ultrasonic visualization methods. Die ersten Bemühungen um die Entwicklung eines operationellen akustischen Mikroskop konzentriert auf Hochfrequenz-Anpassungen der Niederfrequenz-Ultraschall-Visualisierungs-Methoden. One early system employed Bragg diffraction imaging [ 4 ] , which is based upon direct interaction between an acoustic-wave field and a laser light beam. Eine frühzeitige System beschäftigt Bragg diffraction Imaging [4], der auf die direkte Interaktion zwischen einer akustischen Welle und ein Laser-Lichtstrahl. Another example was based on variations of the Pohlman cell [ 5 ] . Ein weiteres Beispiel war auf der Grundlage von Variationen der Pohlman Zelle [5]. The original device is based upon a suspension of asymmetric particles in a thin fluid layer which, when acted upon by acoustic energy, produce visual reflectivity changes. Das Original ist auf der Grundlage einer Aussetzung der asymmetrischen Teilchen in einer Flüssigkeit dünne Schicht, die, wenn sie umgesetzt werden durch akustische Energie, produzieren visuelle Reflexion Änderungen. Cunningham and Quate [ 6 ] modified this by suspending tiny latex spheres in a fluid. Cunningham und messene [6] geändert durch die Aussetzung dieser winzigen Latex Kugeln in einer Flüssigkeit. Acoustic pressure caused population shifts which were visually detectable. Schalldruck Bevölkerung Verschiebungen verursacht, die visuell erkannt werden kann. Kessler and Sawyer [ 7 ] developed a liquid crystal cell that enabled sound to be detected by hydrodynamic orientation of the fluid. Kessler und Sawyer [7] ein Flüssigkristall-Zelle, die es ermöglichte Ton zu erkennen durch hydrodynamische Ausrichtung der Flüssigkeit. In 1973, the Quate group began the development of a concept [ 8 ] , which utilized a confocal pair of acoustic lenses for focusing and detecting the ultrasonic energy. Im Jahr 1973, die geeignete Gruppe begann mit der Entwicklung eines Konzepts [8], die genutzt ein konfokales zwei akustische Linsen für die Fokussierung und die Aufdeckung von Ultraschall-Energie. Advancements of this instrument, a scanning acoustic microscope, have to do with achieving very high resolution, novel modes of imaging, and applications. Weiterentwicklungen dieses Instruments ist ein Scan-akustischen Mikroskop, zu tun haben, mit sehr hoher Auflösung zu erreichen, neue Formen der Bildgebung und Anwendungen. The SAM was commercially introduced by Leitz Corp and by Olympus Corp. In 1970 the Korpel and Kessler group began to pursue a scanning laser detection system for acoustic microscopy [ 9 ] . Die SAM wurde kommerziell durch die Firma Leitz und Olympus Corp 1970 die Korpel Kessler und begann, eine Laser-Scan-Detection-System für akustische Mikroskopie [9]. In 1974, the activity was shifted to another organization under Kessler (Sonoscan Inc), where practical aspects of the instrument were developed. Im Jahr 1974, die Tätigkeit wurde auf einer anderen Organisation unter Kessler (Sonoscan Inc), wo die praktischen Aspekte des Instruments entwickelt. This instrument, the scanning laser acoustic microscope (SLAM), was made commercial available in 1975 [ 10 ] . Dieses Instrument, das die akustische Laser Scanning Mikroskop (SLAM), wurde im Jahr 1975 kommerziell verfügbar [10].

In 1984 Kessler's group completed development of the C-SAM concept instrument [ 11 ] which operated in the reflection mode, as well as the through-transmission (only) mode of the SLAM. Im Jahr 1984 Kessler Gruppe abgeschlossen Entwicklung des C-SAM-Konzept Instrument [11], die sich in der Reflexion-Modus, sowie die durch-Übertragung (nur) Modus der SLAM. Using the same transducer to pulse ultrasound and receive the return echoes meant that the acoustic image could easily be constrained to a depth of interest. Mit der gleichen Ultraschall-Impuls-Geber zu erhalten und die Rückkehr Echos bedeutete, dass die akustische Bild könnte auf eine Tiefe von Interesse. This design was the precursor of essentially all of the acoustic microscopes in use today, and was the development that made possible numerous later advances such as cross-sectional acoustic imaging, three-dimensional acoustic imaging, and others. Dieses Design war der Vorläufer des im Wesentlichen alle von der Akustik-Mikroskope heute im Einsatz, und war die Entwicklung, die möglichst viele Fortschritte wie später Querschnittkomponente akustische Imaging, dreidimensionale akustische Bildgebung und andere.

[ edit ] Range of Applications [Bearbeiten] Spektrum von Anwendungen The samples imaged by acoustic microscopes are typically assemblies of one or more solid materials that have at least one surface that is either flat or regularly curved. Die Proben abbilden durch akustische Mikroskope Baugruppen sind in der Regel von einem oder mehreren festen Materialien, die mindestens eine Oberfläche, die entweder flach oder regelmäßig gekrümmt. The depth of interest may involve an internal bond between materials, or a depth at which a defect may occur in a homogeneous material. Die Tiefe des Interesses kann eine interne Verbindung zwischen Materialien, oder eine Tiefe, in der ein Mangel kann auftreten, in einem homogenen Material. In addition, samples may be characterized without imaging to determine, eg, their acoustic impedance. Darüber hinaus, so können Proben gekennzeichnet ohne Bildgebung, um festzustellen, wie zB die akustische Impedanz.

Because of their ability to find visualize features nondestructively, acoustic microscopes are widely used in the production of electronic components and assemblies for quality control, reliability and failure analysis. Aufgrund ihrer Fähigkeit zu finden, visualisieren Funktionen nondestructively, akustische Mikroskope sind in der Herstellung von elektronischen Komponenten und Baugruppen für die Kontrolle der Qualität, der Zuverlässigkeit und der Fehleranalyse. Usually the interest is in finding and analyzing internal defects such as delaminations, cracks and voids, although an acoustic microscope may also be used simply to verify (by material characterization or imaging, or both) that a given part or a given material meets specifications or, in some instances, is not counterfeit. In der Regel ist das Interesse bei der Suche und Analyse von inneren Mängeln wie Delaminationen, Risse und Hohlräume, wobei ein akustisches Mikroskop kann auch verwendet werden, einfach zu überprüfen (Charakterisierung von Material-oder Imaging-, oder beides), die einen bestimmten Teil oder ein bestimmtes Material oder den Spezifikationen , in einigen Fällen, ist keine Fälschung. Acoustic microscopes are also used to image printed circuit boards and other assemblies. Akustische Mikroskope werden auch für die Bild gedruckte Leiterplatten und andere Baugruppen.

There are in addition numerous applications outside of electronics. Es gibt darüber hinaus eine Vielzahl von Anwendungen außerhalb der Elektronik. The assembly of numerous medical products uses acoustic microscopes to investigate internal bonds and features. Die Montage von zahlreichen medizinischen Produkten verwendet akustischen Mikroskop zu untersuchen, interne Verbindungen und Funktionen. For example, a polymer film may be imaged to examine its bond to a multi-channel plastic plate used in blood analysis. Zum Beispiel, ein Polymer-Film belichtet werden kann, um die Verbindung zu einem Multi-Channel-Kunststoff-Platten, die in Blut-Analyse. In many industries, products that involve tubing, ceramic materials, composite materials or some types of welds may be imaged acoustically. In vielen Branchen, Produkte, die Röhre, keramische Werkstoffe, Verbundwerkstoffe oder bestimmte Arten von Schweißnähten kann akustisch abbilden. For a comprehensive listing of applications and corresponding references to technical papers please go to the following web page: http://www.sonoscan.com/resources/publications.html Für eine umfassende Liste von Anwendungen und die entsprechenden Verweise auf technische Dokumente finden Sie auf der folgenden Web-Seite: http://www.sonoscan.com/resources/publications.html

[ edit ] References [Bearbeiten] Referenzen ^ Kessler, LW, "Acoustic Microscopy", Metals Handbook, Vol. ^ Kessler, LW, "Akustische Mikroskopie", Metall-Handbuch, vol. 17 - Nondestructive Evaluation and Quality Control, ASM International, 1989, pp. 17 - Verlustfreie Bewertung und Qualitätskontrolle, ASM International, 1989, pp. 465–482. 465-482. ^ S. ^ S. Sokolov, USSR Patent no. Sokolov, UdSSR Patent-Nr. 49 (Aug. 31, 1936), British Patent no. 49 (Aug. 31, 1936), British Patent-Nr. 477,139, 1937, and US Patent no. 477.139, 1937, und US-Patent-Nr. 2,164,175, 1939. 2164175, 1939. ^ F. ^ F. Dunn and WJ Fry, “Ultrasonic absorption microscope,” J. Dunn und WJ Fry, "Ultrasonic Absorption Mikroskop," J. Acoust. Acoust. Soc. Soc. Amer. ,vol. Amer., Vol. 31, no. 31, Nr. 5, pp. 5, pp. 632–633, May 1959. 632-633, Mai 1959. ^ A. ^ A. Korpel, “Visualization of the cross-section of a sound beam by Bragg diffraction of light,” Appl. Korpel, "Visualisierung der Querschnitt eines soliden Breite von Bragg-Beugung von Licht", Appl. Phys. Phys. Lett. , vol. Lett., Vol. 9, p. 9, S. 425, 1966. 425, 1966. ^ R. ^ R. Pohlman, “Material illumination by means of acoustic optical imagery,” Z. Pohlman, "Material Beleuchtung durch optische akustische Bilder", Z. Phys. , 1133 697, 1939. Phys., 1133 697, 1939. See also Z. Siehe auch Z. Angew. Angew. Phys. , vol. Phys., Vol. 1, p. 1, S. 181, 1948. 181, 1948. ^ JA Cunningham and CF Quate, “Acoustic interference in solids and holographic imaging,” in Acoustical Holography , vol. ^ JA Cunningham-und CF-messene, "Acoustic Einmischung in Festkörpern und holographische Bildgebung," in Akustische Holographie, vol. 4, G. Wade, Ed., New York: Plenum, 1972, pp. 4, G. Wade, Ed., New York: Plenum, 1972, pp. 667–685. 667-685. ^ LW Kessler and SP Sawyer, “Ultrasonic stimulation of optical scattering in nematic liquid crystals,” Appl. ^ LW Kessler und SP Sawyer ", Ultraschall-Stimulation der optischen Streuung in nematischen Flüssigkristallen", Appl. Phys. Phys. Lett. , vol. Lett., Vol. 17, pp. 17, pp. 440–441, 1970. 440-441, 1970. ^ RA Lemons and CF Quate, “Acoustic microscope – scanning version,” Appl. ^ RA Zitronen-und CF-messene, "Acoustic Microscope - Scan-Version", Appl. Phys. Phys. Lett. , vol. 24, no. 24, Nr. 4, pp. 4, pp. 163–165, Feb. 15, 1974. 163-165, Feb. 15, 1974. ^ A. ^ A. Korpel and LW Kessler, “Comparison of methods of acoustic microscopy,” in Acoustical Holography , vol. Korpel und LW Kessler, "Vergleich der Methoden der akustischen Mikroskopie", in: Akustische Holographie, vol. 3 by AF Metherell, Ed.,, New York: Plenum, 1971, pp. 3 von AF Metherell, Ed., New York: Plenum, 1971, pp. 23–43. 23-43. ^ Kessler, LW, and Yuhas, DE, "Acoustic Microscopy - 1979", Proc. ^ Kessler, LW und Yuhas, DE, "Akustische Mikroskopie - 1979", Proc. of IEEE, (invited paper), Vol. der IEEE, (Invited Paper), vol. 67, No. 4, April 1979, pp. 67, Nr. 4, April 1979, pp. 526–536. 526-536. ^ "Acoustic Imaging and Acoustic Microscopes From Sonoscan Inc." ^ "Acoustic Imaging und Akustische Mikroskope Von Sonoscan Inc." Sonoscan. Sonoscan. 11 July 2008 < http://www.sonoscan.com >. 11. Juli 2008 <http://www.sonoscan.com>.

[ edit ] External links [Bearbeiten] Externe Links Sonoscan . Sonoscan.

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